正壓氦質譜檢漏儀品牌企業【中科鼎新】

氦質譜檢漏儀——產品介紹

它采用輕巧的模塊化結構設計，整體體積小，非常易于集成在工業密封性測試設備中。

該產品既可在真空中進行低壓檢測，也可利用吸槍線進行本地高壓檢測，廣泛適用于鋰電，制冷，電力，汽車空調等行業多種檢測要求。

性能特點

緊湊的模塊化設計，便于用戶個性化地集成檢漏系統中

通過各種不同的模擬和數字接口，實現通訊的多樣性

啟動時間短，快速的信號響應和信號清除；檢漏效率較高

智能故障提示及報警功能 

氦質譜檢測儀——示漏氣體的選擇

選擇示漏氣體的原則是：它在空氣中及真空系統中的含量低；檢漏儀對它的靈敏度高；它不會對人員、環境、被檢件及檢漏儀造成污染、傷害和安全隱患；價格低。

質譜檢漏儀通常選擇氦氣作示蹤氣體，主要原因如下：

（1）氦在空氣中及真空系統殘余氣體中的含量少（在空氣中約含5×10-6），在材料出氣中也很少，因此本底壓力小，輸出的本底電流也小。正因為本底小，由某些原因引起本底的波動，亦即本底噪聲也就小，因此微小漏率也就能反應出來，靈敏度高。

（2）氦的質量小（相對分子質量為4），易于穿過漏孔。這樣，氦較除氫以外的其他氣體通過同一漏孔的漏率就大，容易發現，靈敏度高。

（3）氦是惰性氣體，不與被檢件器壁起化學反應，不會污染被檢件，使用安全。

（4）在氦兩側的離子是氫（質荷比為2）和雙電荷原子碳（質荷比為6），質荷比都與氦相差較大。這樣，它們在分析器中的偏轉半徑相差也大，容易分開，調氦峰時，不易受其他離子的干擾，因此就降低了對分析器制造精度的要求，易于加工。同時，分析器出口電極及離子源加速極的隙縫也可以加大，使更多的氦離子通過，提高了儀器靈敏度。當一個帶電質點（正離子）以速度v進入均勻磁場的分析器中，如果速度v的方向和磁場H的方向相垂直，則它的運動軌跡為圓。

（5）氦在被檢件及真空系統中不易被吸附，容易被抽走。這樣檢出一個漏孔可以使氦信號迅速消失以便繼續進行檢漏，提高了儀器的檢漏效率。

氫氣有些性能（如質量小、易通過漏孔）比氦還好，然而由于氫一方面有危險，另一方面在油擴散泵中，由于油受熱裂解會產生大量的碳和氫，使氫本底極高且波動大，以致靈敏度大大降低，所以很少采用。

氦質譜檢漏儀的檢漏方法

中科鼎新真空科技（濟南）有限公司——專業氦質譜檢漏儀供應商，我們為您帶來以下信息。

?正壓法

又稱吸槍檢漏，將專用吸槍接在儀器檢漏口上，被檢件充入規定壓力的氦氣（純氦氣或一定比例氦氮混合氣）。檢漏時，吸槍沿可能泄漏處慢慢移動，被檢件有漏孔，氦氣自漏孔漏出，被吸槍吸入至儀器的質譜系統而被檢測出。因為空氣中含有5ppm的氦氣，正壓法檢漏靈敏度相對負壓法要低。擴散泵型真空系統的冷阱加在質譜室、檢漏口與擴散泵之間，使三者被冷阱隔離，如圖5所示。

氦質譜檢漏儀使用注意事項

1.設備應在施工工作完成后進行本測試，測試完成后不得進行焊縫的修磨等。

2.若設備被浸濕或有殘余的液體都會影響毛細管的泄漏而影響測試結果的真實性。

3.因氦比空氣輕，因此要注意檢漏的順序，檢查順序應依照由下而上， 由近而遠的順序進行。

4.檢漏過程中，如發現大量氦氣進入質譜檢漏儀，應立即移去吸槍，防止因儀器長時間清除不掉氦影響而延誤測試。