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發布時間:2021-04-22 06:12  
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特種氣體是指稀有氣體或超高純度(99.995% 以上)的氣體。包括分析、醫1藥、電子及石油化工在內的許多行業都會受益于特種氣體的獨特性質,它有助于提高產量、優化性能以及降低成本。特種氣體廣泛應用于半導體制造行業,是超大規模集成電路、平面顯示器件、化合物半導體器件、太陽能電池、光纖等電子工業生產不可缺少的原材料,它們主要應用于薄膜、刻蝕、摻雜、氣相沉積、擴散等工藝。電子工業是當今推動科技發展的高新技術產業,由于所用氣體的品種多、質量要求高,為有別于其它領域應用的氣體,人們把這類在電子工業中用的氣體統稱為電子特種氣體。
特種氣體是指那些在特定領域中應用的,對氣體有特殊要求的純氣,高純氣或由高純單質氣體配制的二元或多元混合氣。作為基礎化工材料,特種氣體隨著新產品技術的發展,應用范圍越來越廣泛。特種氣體興起于60年代中期,作為基礎化工材料,主要運用于大型石油化工、半導體器件、光導纖維、激光、臨床診斷、水果催熟、食品保鮮等領域。隨著新產品技術的發展,其應用范圍也越來越廣泛。特種氣體應用于國民經濟的很多行業, 它在電子行業、石油化工、醫1藥等各領域發揮著巨大的作用。我國特種氣體經過30余年的發展, 無論在氣體品種上,還是在數量上, 都以的速度發展, 生產的品種基本上滿足了市場的需求。
對特氣的危害性進行分析,通過本質安全設計,消除安全隱患。根據行業規范,對特氣房選址、安全間距、防火分區、房間通風、電氣防爆等進行評估。管道設計應進行保壓和氦測漏,確保系統密閉性。特種氣體是光電子、微電子等領域,特別是在超大的規模集成電路、液晶顯示器件、非晶硅薄膜太陽能電池、半導體發光器件和半導體材料制造過程不可缺少的基硅性支撐源材料。工業上,把常溫常壓下呈氣態的產品統稱為氣體產品.氣體產品種類繁多,大致可以分為一般工業氣體和特種氣體兩大類.一般工業氣體產銷量大,但對純度要求不高.特種氣體產銷量雖小,但根據不同的用途。
