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              pfeiffer分子泵維修工廠品質售后無憂 廣州潽拓光電

              發布時間:2021-08-30 20:58  

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              廣州潽拓光電——BPG400 /BPG402 英福康INFICON 

              INFICON皮拉尼復合真空計

              產品型號:BPG400

              I

              半導體工藝和輸送室中的壓強測量

              工業鍍膜

              一般真空測量和控制,從低至超高真空范圍

              優點

              極寬的測量范圍從 5x10-10 毫巴至大氣壓(3.8x10-10 乇至大氣壓)

              很好的重復性,壓強范圍10-8 … 10-2 毫巴均為5%

              皮拉尼連鎖保護燈絲,防止過早燒毀

              雙敷涂釔的氧化銥長壽命燈絲

              可選圖形顯示和現場總線接口

              自動高真空皮拉尼調整,減少操作人員的干預

              容易更換具有在機校準的傳感元件,保證高度重復性


              廣州潽拓光電——真空計 BPG400 and PCG 402 的工作原理

              1、真空計 BPG400 and PCG 402 都是皮拉尼(Pirani)真空計2、皮拉尼(Pirani)真空計原理低溫的氣體分子碰撞高溫固體時,會從固體奪取熱量。通過被氣體分子奪取的熱量來計算壓力的真空計被成為熱傳導真空計。熱傳導真空計主要被應用于中低真空領域。代表性的熱傳導真空計包括Pirani真空計和熱電偶真空計。廣州潽拓光電——德國PfeifferVacuum普發真空分子泵Hipace80/TMH071系列的工作原理設計/工作原理普發真空于1958年由W。    原理

                     金屬圓筒內部設有一白金細線,兩端連接電極。通過電極給白金細線提供電流時,白金細線會發熱,氣體分子碰撞白金細線或熱輻射或通過固體熱傳導等方式,白金線的熱量會被奪走。德國PfeifferVacuum普發真空分子泵Hipace80/TMH071系列的工作原理軸承通過兩個球軸承安裝渦輪分子泵轉子軸需要將兩個球軸承都安排在前真空側,因為軸承中有潤滑劑。單位時間內以上三種方式奪走的熱量為Qg,Qr,Qs,則平衡狀態下時以下公式成立  

                     Q = I2R = Qg Qr Qs (1)

                     Q是單位時間細線放出的熱量,R是細線的電阻,I是細線的電流。        氣體的平均自由行程比細線的直徑大很多時,Qg通過自由分子的熱傳導被表示為

                  Qg = αΛπda(T-T0)p (2)        T和T0分別為細線和金屬圓筒的溫度,P為氣體壓力,a是細線長度。 剩下的Qs和Qr可以分別表示如下

                     Qs = Sκ(T-T0)/L (3)        Qr = πdaσε(T4-T04) (4)         (3)是電極的熱傳導,其中S是細線的斷面積,κ是固體的傳導率,L是電極的長度。(4)式代表熱輻射,σ和ε分別被稱為常數和固體輻射率。如果保持T和T0一定,則(3)和(4)式為常數。法國ALCATEL阿爾卡特真空泵詳細說明法國ALCATEL機械泵是ALCATEL的主要真空設備。如果用I02R表示一定量的固體熱傳導和熱輻射,則式1可以表示為

                    I2R = Ap + I02R (5)        A = αΛπda(T-T0) (6)        I0是壓力為0的時候細線的電流, 是彌補固體熱傳導和熱輻射而帶來的熱量損失。A式是不依存壓力的定數    如果已知細線的電阻R,電流I0及定數A,則可以通過(5)式求得壓力P。


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              廣州潽拓光電——Varian Turbo-V300HT

              先進的轉子設計與Twis Torr技術相結合,可將泵級數減少30%

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