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嵌入可動電極的微慣性傳感器的設計

MEMS電容式微慣性傳感器因其具有尺寸小、靈敏度高、穩定性好、溫度漂移小、功耗低、很好的工作在力平衡模式下等等優點，在軍事、汽車工業、生物醫學、消費電子、慣性導航等領域得到廣泛的應用。 本首先分析了電容式微慣性傳感器的測量控制原理和系統動態模型，并在此基礎上通過三個方面設計出新型嵌入橫向可動電極的微慣性傳感器，分別是：支撐梁結構、微執行器結構和檢測電容結構。對霍爾傳感器作了一些研究,對一款開關型雙極霍爾傳感器作了設計與分析。通過分別對以上三方面不同結構模型的分析對比，在傳感器設計中選用U形梁結構作為傳感器的支撐梁，電磁執行器作為驅動力，梳柵結構作為檢測電容結構。

其中為了克服深反應離子刻蝕關于深寬比不能做大的限制和降低噪聲，詳細介紹了電磁驅動增大傳感器初始檢測電容的工作原理，通過嵌入可動電極和電磁驅動作用減小電容間隙，結果表明，電磁驅動使得傳感器的電容間隙減小4μm，初始檢測電容由1.28pf增大到6.4pf。 根據以上理論分析和參數設計，給出了新型電容式微慣性傳感器的整體結構模型，并利用有限元軟件Ansys進行。結果表明所設計的傳感器在非敏感方向上梁的剛度較大，軸向交叉效應得到了有效抑制；傳感器的靜態位移靈敏度為0.659μm/g，施加電磁驅動前后的電容靈敏度分別為0.15pf/g和0.192pf/g，增大為原來的1.28倍；結果表明,改進算法不僅降低檢測概率的影響,同時也弱化了傳感器順序的影響。同時應力分析結果表明，傳感器能夠抵擋1000g的加速度信號的沖擊而不被損壞。之后利用電磁分析軟件ANSOFT-Maxwell分析了邊緣效應對傳感器性能的影響，表明小尺寸的傳感器電容的邊緣效應不可忽略。

壓阻式壓力傳感器

壓力傳感器的分類 壓力傳感器的種類繁多，如電阻應變片壓力傳感器、半導體應變片壓力傳感器、壓阻式壓力傳感器、電感式壓力傳感器、電容式壓力傳感器、諧振式壓力傳感器等。

目前應用較為廣泛的壓力傳感器有：擴散硅壓阻式壓力傳感器、陶瓷壓阻壓力傳感器、濺射薄膜壓力傳感器、電容壓力傳感器、耐高溫特性的藍寶石壓力傳感器。但應用為廣泛的是壓阻式壓力傳感器，它具有極低的價格和較高的精度以及較好的線性特性。

各種壓力傳感器的原理  壓阻式壓力傳感器這種傳感器采用集成工藝將電阻條集成在單晶硅膜片上,制成硅壓阻芯片,并將此芯片的周邊固定封裝于外殼之內，引出電極引線。 提到壓阻式傳感器，首先得講到它的原理——壓阻效應。

壓阻效應是用來描述材料在受到機械式應力下所產生的電阻變化。不同于壓電效應，壓阻效應只產生阻抗變化，并不會產生電荷。

當壓力變化時，電阻R1,R2,R3,R4發生變化，從而引發加載在電阻中間的電壓發生變化，這種變化反映出壓力值。

壓阻式傳感器又稱為擴散硅壓阻式壓力傳感器，被測介質的壓力直接作用于傳感器的膜片上（不銹鋼或陶瓷），使膜片產生與介質壓力成正比的微位移，使傳感器的電阻值發生變化，和用電子線路檢測這一變化，并轉換輸出一個對應于這一壓力的標準測量信號。

如何區別原裝Ic和翻新Ic

看芯片表面是否有打磨過的痕跡。凡打磨過的芯片表面會有細紋甚至以前印字的微痕，有的為掩蓋還在芯片表面涂有一層薄涂料，看起來有點發亮，無塑膠的質感。瑞泰威驅動IC廠家，是國內IC電子元器件的代理銷售企業，專業從事各類驅動IC、存儲IC、傳感器IC、觸摸IC銷售，品類齊全，具備上百個型號產品原裝zheng品。磁電阻效應是對于一些磁性材料，當施加外磁場時，材料的電阻會發生變化的效應。

看打字，一般翻新的重新打子的（白字）用“天那水”（化學稀釋劑）可以把字擦除的一般為翻新貨，原裝貨是擦不掉的。現在的芯片絕大多數采用激光打標或用專用芯片印刷機印字，字跡清晰，既不顯眼，又不模糊且很難擦除。翻新的芯片要么字跡邊沿受清洗劑腐蝕而有“鋸齒”感，要么印字模糊、深淺不一、位置不正、容易擦除或過于顯眼。另外，絲印工藝現在的IC大廠早已淘汰，但很多芯片翻新因成本原因仍用絲印工藝，這也是判斷依據之一，絲印的字會略微高于芯片表面，用手摸可以感覺到細微的不平或有發澀的感覺。而且，使傳感器通電所需的功率還會提高其內部的溫度，從而影響測量準確度。

氧化鋯傳感器毛病緣由

常見氧化鋯傳感器的毛病為外表被鉛化物或碳化物掩蓋，招致氣體不能浸透、氧離子不能擴散而失效。當毛病燈報警，讀取傳感器毛病后，有必要對其停止診斷，由于氧傳感器報警不一定就是傳感器有毛病，其報警信號還遭到下列要素的影響。在電控發起機中，用于燃料系統閉環控制的氧傳感器是一個重要的電子元件，用來監測廢氣中氧的含量，用電壓信號反應給ECU，以控制空燃比堅持在14.7。同時，它又是多種毛病信號的代言報警元件。僅僅幾毫安的電流，這種自加熱效應就會產生溫度誤差(這些誤差是可糾正的，但需要進一步的斟酌考量)。

　　1.點火系工作情況；

　　2.進氣系統密封性能；

　　3.排氣系統能否梗塞；

　　4.噴油器的工作情況；

　　5.供油系統油壓上下。

　　因而，在發起機維修中，一旦呈現氧傳感器報警信號，應經過電腦加人腦對毛病部位停止綜合剖析、判別、互換分離，合理維修。