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質量流量控制器的常見問題

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實際使用中發現，當輸入的氣體不同時控制顯示的數值與實際不符，其實原因很簡單，因為在MFC行業中，有一種參數叫CF，即氣體轉換系數（下面簡稱CF）。而MFC行業中又把N2（氮氣）定義為標準氣體M。N2的C值為1.00，其他的氣體以氮氣為中心，分布在0.1到1.4左右。CF大于1.00的代表氣體是單原子氣體He(氦)、Xe(氙)。和N2相近的氣體有02（氧氣）、H2（氫氣）、F2（氟）等。0.5以下的有SF6、WF6、SiCl4等。如果是幾種氣體的混合在一起的話，簡單的分析其比率，用各自的CF值計算即可。

假設某臺MFC是用N2標定的，但是實際流過的氣體是He，實際的流量比N2多。各個廠家的He的CF值稍有不同，但大約都在1.4，所以簡單的說就是He氣相同示數時，是N2的1.4倍流量。反過來，如果N2流過He的MFC，實際的流量大約是1÷1.4=約0.71，少30%的流量。

因此控制器發現流量不準時，考慮出廠標定CF是否與你的氣源相同。

質量流量計簡介

流體的體積是流體溫度和壓力的函數，是一個因變量，而流體的質量是一個不隨時間、空間溫度、壓力的變化而變化的量。如前所述，常用的流量計中，如孔板流量計、層流質量流量計、渦輪流量計、渦街流量計、電磁流量計、轉子流量計、超聲波流量計和橢圓齒輪流量計等的流量測量值是流體的體積流量。在科學研究、生產過程控制、質量管理、經濟核算和貿易交接等活動中所涉及的流體量一般多為質量。采用上述流量計僅僅測得流體的體積流量往往不能滿足人們的要求，通常還需要設法獲得流體的質量流量。以前只能在測量流體的溫度、壓力、密度和體積等參數后，通過修正、換算和補償等方法間接地得到流體的質量。這種測量方法，中間環節多，質量流量測量的準確度難以得到保證和提高。隨著現代科學技術的發展，相繼出現了一些直接測量質量流量的計量方法和裝置，從而推動了流量測量技術的進步。

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氣體質量流量控制器的原理

體通過的測量段內有兩個熱阻元件，其中一個檢測溫度，另一個作為加熱器。這兩個元件和流量計內的電路組成一個溫控系統，該溫控系統保持溫度檢測元件和加熱器之間的溫度值恒定。當氣體流速增加，冷卻效應越大，使須保持熱電阻間恒溫的電流也越大。此熱傳遞正比于氣體質量流量，即供給電流與氣體質量流量有一對應的函數關系，來反映氣體的流量。