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              負(fù)性光刻膠生產(chǎn)廠家按需定制「在線咨詢(xún)」

              發(fā)布時(shí)間:2020-11-11 14:08  

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              光刻膠分類(lèi)

              光刻膠按其形成圖形的極性可以分為:正性光刻膠和負(fù)性光刻膠。正膠指的是聚合物的長(zhǎng)鏈分子因光照而截?cái)喑啥替湻肿樱回?fù)膠指的是聚合物的短鏈分子因光照而交鏈長(zhǎng)鏈分子。 短鏈分子聚合物可以被顯影液溶解掉,因此正膠的曝光部分被去掉,而負(fù)膠的曝光部分被保留。

              賽米萊德以誠(chéng)信為首 ,服務(wù)至上為宗旨。公司生產(chǎn)、銷(xiāo)售光刻膠,公司擁有強(qiáng)大的銷(xiāo)售團(tuán)隊(duì)和經(jīng)營(yíng)理念。想要了解更多信息,趕快撥打圖片上的熱線電話(huà)!



                 光刻膠的主要技術(shù)參數(shù)

              1.靈敏度(Sensitivity)

              靈敏度是衡量光刻膠曝光速度的指標(biāo)。光刻膠的靈敏度越高,所需的曝光劑量越小。單位:毫焦/平方厘米或mJ/cm2。

              2.分辨率(resolution)

              區(qū)別硅片表面相鄰圖形特征的能力。一般用關(guān)鍵尺寸(CD,Critical Dimension)來(lái)衡量分辨率。形成的關(guān)鍵尺寸越小,光刻膠的分辨率越好。

              光刻膠的分辨率是一個(gè)綜合指標(biāo),影響該指標(biāo)的因素通常有如下3個(gè)方面:

              (1) 曝光系統(tǒng)的分辨率。

              (2) 光刻膠的對(duì)比度、膠厚、相對(duì)分子質(zhì)量等。一般薄膠容易得到高分辨率圖形。

              (3) 前烘、曝光、顯影、后烘等工藝都會(huì)影響光刻膠的分辨率。  

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              硅片模具加工如何選擇光刻膠呢?

              注意事項(xiàng):

              ①若腐蝕液為堿性,則不宜用正性光刻膠;

              ②看光刻機(jī)型式,若是投影方式,用常規(guī)負(fù)膠時(shí)氮?dú)猸h(huán)境可能會(huì)有些問(wèn)題

              ③負(fù)性膠價(jià)格成本低,正性膠較貴;

              ④工藝方面:負(fù)性膠能很好地獲得單根線,而正性膠可獲得孤立的洞和槽;

              ⑤健康方面:負(fù)性膠為有機(jī)溶液處理,不利于環(huán)境;正性膠屬于水溶液,對(duì)健康、環(huán)境無(wú)害。

              以上內(nèi)容由賽米萊德為您提供,希望對(duì)同行業(yè)的朋友有所幫助!



              光刻膠可以分為哪幾類(lèi)

              光刻膠的技術(shù)復(fù)雜,品種較多。根據(jù)其化學(xué)反應(yīng)機(jī)理和顯影原理,可分負(fù)性膠和正性膠兩類(lèi)。光照后形成不可溶物質(zhì)的是負(fù)性膠。反之,對(duì)某些溶劑是不可溶的,經(jīng)光照后變成可溶物質(zhì)的即為正性膠。