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高純氧氣 - 性質(zhì)介紹

純度(V/V)：99.999%

執(zhí)行標準 ：國標

產(chǎn)品介紹 ：

氧一種化學(xué)元素。化學(xué)符號O，原子序數(shù)8，原子量15.9994，屬周期系ⅥA族。氧的存在氧有三種穩(wěn)定同位素，即氧16、氧17和氧18，其中氧16含量占99.759％。氧在地殼中的含量為48.6％，居首位，氧在地球上分布極廣，大氣中的氧占23％，海洋和江河湖泊中到處都是氧的化合物水，氧在水中占88.8％。地球上還存在著許多含氧酸鹽，如土壤中所含的鋁硅酸鹽，還有硅酸鹽、氧化物、碳酸鹽的礦物。大氣中的氧不斷地用于動物的新陳代謝，人體中氧占65％，植物的光合作用能把二氧化碳轉(zhuǎn)變?yōu)檠鯕猓寡醯靡圆粩嗟匮h(huán)。雖然地球上到處是氧，但氧主要是從空氣中提取的，有取之不盡的資源。氫氣使用要求1、新安裝或大修后的氫氣系統(tǒng)必須做耐壓實驗、清洗和氣密實驗，符合有關(guān)的檢驗要求，才能投入使用。

檢測時樣氣（標氣）流路也一樣存在漏氣問題。我們已找到改變分析操作能判斷是否有漏氣方法，并能大致確定漏量大小。還有“在檢測<20ppbl超低微量氣體成分時，不能采用紫銅及一般不銹鋼材料”的說法也欠根據(jù)。氦離子化檢測器和電子捕獲檢測器都是能直接撿測ppb級的檢測器，在儀器上我們?nèi)杂靡话阕香~與不銹鋼管作連接管與色譜柱，只是要將管內(nèi)清洗和置換干凈就能滿足要求[27]。在校驗方法上，有人說“市售瓶裝標準氣含量在1—20ppm內(nèi)，使用這種濃度的標準氣去校驗1—20ppb濃度的含量數(shù)據(jù)，兩種數(shù)據(jù)大小相關(guān)1000倍，這是完全不合理的。”這是外行批評內(nèi)行的話！好象批評者能配出含量為1—20ppb的標準氣？999%執(zhí)行標準：國標產(chǎn)品介紹：不燃，無色無味無臭的氣體，液化后呈無色透明。因為很明顯目前還沒有人能得到純度為9個“9”的配標準氣的底氣。基于目前只能配制出ppm級標準氣，第l一底氣純度得到保證；第二個問題是配氣誤差。只要查一下國家l質(zhì)量技術(shù)監(jiān)督局批準的一級[GBW]和二級[GBW（E）]氣體標準物質(zhì)（共300多種）[11]，就可知道氣瓶標氣l小配制濃度只能到1ppm。第三考慮到濃縮法能將ppb變?yōu)閜pm級和檢測器可以保證的線性范圍。因而用ppm的標準氣校驗ppb級就不足奇怪。理論與技術(shù)上的研究，在許多內(nèi)容上都是使“不可能”“不合理”的事，讓它在一定條件下成為可能。

高純度氣體的管道輸送，將高純氣體送至用氣點，并保持質(zhì)量合格的關(guān)鍵是供氣系統(tǒng)設(shè)計合理、管件及附件選擇正確、施工安裝正確和試驗檢測合格。高純氣體管道輸送管道，要根據(jù)工藝過程對氣體純度、允許的雜質(zhì)含量、微粒含量等的要求不同，采用相應(yīng)質(zhì)量的管材。比如半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)因其生產(chǎn)工藝復(fù)雜、加工精細，它不僅要求有潔凈的生產(chǎn)環(huán)境，而且對生產(chǎn)過程中所需的各種高純氣體有特定的、嚴格的要求，從微米技術(shù)進入亞微米、深亞微米（小于O.35g.m）技術(shù)，對氣體中的雜質(zhì)含量、水含量要求極為嚴格，10 （ppm級）已經(jīng)不能達到要求，需要達到10 （ppb級），甚至10一~2（ppt級），塵埃粒徑要求控制到0.05-0。Olla,m。因此輸送管道本身的管道材料特性適應(yīng)高純、超高純氣體的要求成為必須。10、使用新氫氣管接頭（新事故槍接頭）時，必須進行清l脂脫油處理。

5.表面粗糙度和耐磨性

為了確保輸送的氣體純凈度，要求管道材料內(nèi)表面有一個極高的光潔度，這樣可以防止污染粒子及濕氣在管壁滯留，可以在吹掃時比較容易吹凈。管材比較光潔而且耐磨，可以在氣流高速沖刷下，產(chǎn)生的金屬粒子就少，不銹鋼比銅管產(chǎn)生粒子要少，所以不銹鋼管耐磨性優(yōu)于鋼管。管道閥門及連接氣體管道普遍采用球閥、隔膜閥和波紋管閥，根據(jù)氣體純度、有毒性和可燃爆l炸性要求選擇相適應(yīng)的閥門。

6.抗腐蝕性

微電子生產(chǎn)中，經(jīng)常使用一些腐蝕性很強的氣體，這時必須采用耐腐蝕的管材，否則管道會被腐蝕，輕則表面產(chǎn)生銹斑，重則管道大面積剝落、穿孔，不但污染氣體，還會發(fā)生安全事故。