AB-11MFC Mass Flow Controller承諾守信「曉韜科技」

質量流量計簡介

質量流量：

以單位時間內流過某截面的流體質量表示的流量。氣體質量流量一般將其換算成標準狀態下的 體積/分鐘 來表示。例如：毫升/分鐘即 mL/min （SCCM行業標準）, 升/分鐘即 L/min （SLM行業標準）. 標準狀態為：氣體溫度—— 273.15K (0℃)； 氣壓——101325Pa(1atm)

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質量流量計的原理

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目前，國內使用較為廣泛的是熱式氣體質量流量計。

其原理如下：“在直徑較細的感應管中放置兩對加熱器，并將其控制在同一溫度。當流體流動時，氣體將上游的部分熱量帶給下游，而下游的加熱器從上方獲取熱量溫度上升。這時，利用上下加熱器之間產生的溫度差和流體的質量流量成比例的原理，來測定流量。”（附：qm=KCpA△T Cp定壓比熱容 A測量管繞組（即加熱系統）與周圍環境熱交換系統之間的熱傳導系數； K -------儀表常數）

質量流量控制器簡介

質量流量控制器的英文名字叫“MASS FLOW CONTROLLER”(簡稱MFC)，它通常由電路板、傳感器、進出氣管道接頭、分流器管道、機殼、調節閥等部件組成。它的工作電源及流量顯示和設定等操作由與其配套的流量顯示電源提供。

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