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發(fā)布時間:2021-03-06 07:53  
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什么是流量控制器
質(zhì)量流量控制器,即MassFlowController(MFC),不但具有質(zhì)量流量計的功能,更重要的是,它能自動控制氣體流量,即用戶可根據(jù)需要進行流量設(shè)定,MFC自動地將流量恒定在設(shè)定值上,即使系統(tǒng)壓力有波動或環(huán)境溫度有變化,也不會使其偏離設(shè)定值。質(zhì)量流量控制器(Mass Flow Controller縮寫為MFC)用于對于氣體或者液體的質(zhì)量流量進行精密測量和控制。擴散,氧化,分子束外延,CVD,等離子刻蝕,濺射,離子注入,以及真空鍍膜設(shè)備,光纖熔煉,微反應(yīng)裝置,混氣配氣系統(tǒng),毛細管測量氣象色譜儀,光導(dǎo)纖維制造設(shè)備中。并廣泛用于石油化工。冶金,制藥等。特點:精度高,重復(fù)性好。通常流體密度變化小,可以認為流速與流體質(zhì)量流量正比,因此流速的補償可以轉(zhuǎn)化為流量變化的非線性因素進行補償。
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質(zhì)量流量計工作原理
質(zhì)量流量計是采用感熱式測量,通過分體分子帶走的分子質(zhì)量多少從而來測量流量,因為是用感熱式測量,所以不會因為氣體溫度、壓力的變化從而影響到測量的結(jié)果。質(zhì)量流量計是一個較為準(zhǔn)確、快速、可靠、穩(wěn)定、靈活的流量測量儀表,在石油加工、化工等領(lǐng)域?qū)⒌玫礁訌V泛的應(yīng)用,相信將在推動流量測量上顯示出巨大的潛力。質(zhì)量流量計是不能控制流量的,它只能檢測液體或者氣體的質(zhì)量流量,通過模擬電壓、電流或者串行通訊輸出流量值。但是,質(zhì)量流量控制器,是可以檢測同時又可以進行控制的儀表。質(zhì)量流量控制器本身除了測量部分,還帶有-個電磁調(diào)節(jié)閥或者壓電閥,這樣質(zhì)量流量控制本身構(gòu)成-個閉環(huán)系統(tǒng),用于控制流體的質(zhì)量流量。一、在使用質(zhì)量流量計的時候需要防止人為的斷電以及拆線,因為采取斷電以及拆信號線的方法會使得設(shè)備短時間不計量還會導(dǎo)致計量糾紛。質(zhì)量流量控制器的設(shè)定值可以通過模擬電壓、模擬電流,或者計算機、PLC 提供。
流量控制器的性能參數(shù)
流量控制器的特點是:當(dāng)自力式流量控制閥進口、出口壓差變化時,通過自力式流量控制閥的流量恒定不變。
流量控制器的性能參數(shù)有:流量控制精度、工作壓差范圍、啟動壓差。
流量控制精度指的是流量控制器的控制流量的誤差,行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)中的誤差要求小于等于8%,A類產(chǎn)品的誤差小于等于5%。流量控制精度的高低取決于流量控制器的設(shè)計、加工和材質(zhì)。
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