Leybold進口分子泵產地分子泵說明書「多圖」

發布時間：2021-03-23 14:40

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廣州潽拓光電——leybold Turbovac 340MCT萊寶懸磁浮分子泵

渦輪分子泵是獲取高真空的一個重要設備，被廣泛應用于高真空場合。相較于傳統滾珠及油膜軸承，電磁軸承作為一種新型軸承，因其非接觸、無摩擦、低功耗、維護成本低、動力學可控并可對轉子動不平衡進行主動控制等特殊優點，在工業應用上前景廣闊。對真空設備而言，非接觸懸浮是很有吸引力的。電磁軸承應用于渦輪分子泵，可實現分子泵的無油、無磨損運行，運行安靜，振動很小，尤其適合半導體工業等超凈高真空應用場合。在此，將介紹2000 L 五自由度磁軸承渦輪分子泵樣機研究進展，重點關注磁懸浮分子泵試驗研究中遇到的各種復雜振動抑制問題。這些振動問題由各種因素所導致，包括泵轉子的彎曲模態振動，陀螺效應造成的轉子動力學失穩，泵葉輪上葉片的顫振及一個由轉子與分子泵永磁電機共同導致的復雜振動模態。這些因素同時出現，并且均能對泵轉子的穩定性造成破壞，必須在磁軸承控制器設計中同時解決，給控制器的設計帶來大的困難。LeyboldTurbovac361C渦輪分子泵的實拍圖片，LEYBOLD萊寶產品主要應用領域：研發，分析儀器，信息產業，太陽能光伏產業、電工行業、真空鍍膜、熱處理及冶金行業、食品加工及包裝行業，制冷及照明行業等。