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發(fā)布時(shí)間：2020-12-20 15:50
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Parylene涂層的塑料器件注射14種病原體并溫育
由于parylene涂層符合ISO-10993生物實(shí)驗(yàn)要求，符合FDA G95-1，且具有很好的生物兼容性和生物穩(wěn)定性。可應(yīng)用于植入人體內(nèi)的支架、耳蝸/眼內(nèi)植入，心臟支援裝置、鉆具/成型模等。 將有Parylene涂層的塑料器件注射14種病原體并溫育24小時(shí)，測(cè)試結(jié)果表明，有parylene抑菌涂層保護(hù)的樣品表現(xiàn)明顯好于未受保護(hù)的樣品。其中抗MRSA達(dá)99.9%。同時(shí)，Parylene涂層還具備高潤(rùn)滑性、耐高溫磨損性，且能承受蒸汽和伽瑪射線的標(biāo)準(zhǔn)殺菌過(guò)程。
Parylene的真空氣相沉積工藝
Parylene的真空氣相沉積工藝不僅和微電子集成電路制作工藝相似，而且所制備的Parylene涂層介電常數(shù)也低，還能用微電子加工工藝進(jìn)行刻蝕制圖，進(jìn)行再金屬化，因此Parylene不僅可用作防護(hù)材料，而且也能作為結(jié)構(gòu)層中的介電材料和掩膜材料使用，經(jīng)Parylene涂敷過(guò)的集成電路芯片，其25um細(xì)直徑連接線，連接強(qiáng)度可提高5-10倍。 Parylene能在0.2um厚時(shí)就完全沒有，5um時(shí)就能耐1000V以上直流擊穿電壓，又是摩擦系數(shù)很低的一種自潤(rùn)滑材料，化學(xué)惰性和阻隔性能也好，因此在微電子機(jī)械系統(tǒng)中，除了作電介質(zhì)材料外，還用作微型傳動(dòng)機(jī)構(gòu)和微型閥門的結(jié)構(gòu)材料和防護(hù)材料。
Parylene涂層和熱膨脹系數(shù)有什么區(qū)別?
Parylene的用量非常小，這樣涂層和基材之間的熱膨脹系數(shù)就不會(huì)有很大差別,幾乎不存在任何膨脹/收縮及變形等. 傳統(tǒng)的噴涂、浸漬或刷涂的液體涂層可能會(huì)適用于某些線圈繞組，但是這些材料有許多隱患。例如，固化液體涂層的厚度取決于它們?nèi)軇┑臐舛龋瑥澰旅婧捅砻鎻埩σ矔?huì)將涂層從尖銳的棱角邊緣劃落下來(lái)，在未完全固化前就聚集在角落里。液體涂敷的平均固化厚度一般在0.005至0.010英寸之間。在平整表面，涂層厚度可能需要有0.005英寸或更厚，只有這樣外部角落里、尖銳棱角和邊緣處的液體涂層的厚度才能達(dá)到0.001尺寸。有些時(shí)候，基材與涂層的熱膨脹系數(shù)會(huì)有所不同，導(dǎo)致在溫度變化周期內(nèi)產(chǎn)生機(jī)械應(yīng)力。涂層越厚或溫度越高，這樣情況就會(huì)越嚴(yán)重。
