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發(fā)布時間:2021-05-21 05:06  
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凈化車間FFU控制方式
凈化車間FFU控制方式之計算機控制:此系統(tǒng)與前面兩種方式相比,計算機控制方式先進的功能,不但可以采用集散型控制方式,能夠很方便的實現(xiàn)FFU的集中監(jiān)測和控制,而且還可以方便的實現(xiàn)FFU的單臺、多臺及分區(qū)控制。另外可以設置控制系統(tǒng)預留通信接口,可與上位機或網(wǎng)絡進行通訊,從而實現(xiàn)遠程通信和管理功能。
早期的工業(yè)潔凈室
個工業(yè)生產(chǎn)用潔凈室是在第二次世界1大戰(zhàn)中投入使用的,其主要目的是提高槍1械、坦克、飛機用儀器的質量和可靠性。那時人們認識到,必須提高生產(chǎn)環(huán)境的潔凈度,否則投彈瞄準器這樣的裝置就會出現(xiàn)故障。但當時只要假定潔凈室要保持得象人們的住房那樣清潔,于是便使用了不產(chǎn)生粒子的不銹鋼做表面裝修并保持其清潔。但人們還沒有認識到,由機器和人員產(chǎn)生的大量懸浮粒子之擴散,應由大量的潔凈送風使之降至zui低。
半導體、集成電路生產(chǎn)的無塵車間要求
半導體材料提純作為發(fā)展半導體器件的重要基礎。由于大規(guī)模和超大規(guī)模集成電路的工藝要求,為得到高純度的硅材料,原料和中間媒介的高純度和生產(chǎn)環(huán)境的潔凈度成為影響產(chǎn)品質量的一個突出問題。集成電路芯片的成品率與芯片的缺陷密度有關,而芯片的缺陷密度與空氣中粒子個數(shù)有關。因此,集成電路的高速發(fā)展,不僅對空氣中控制粒子的尺寸有極高的要求,而且也需進一步控制粒子數(shù);同時,對于超大規(guī)模集成電路生產(chǎn)環(huán)境的化學污染控制也有相關的要求。

凈化車間的平面規(guī)劃
凈化車間通常包含凈化區(qū)、準凈化區(qū)和輔佐區(qū)三有些。
凈化車間的平面安置能夠有以下幾種方法:
外廊環(huán)繞式:外廊能夠有窗和無窗,兼作觀賞和放置一些設備用,有的在外廊內(nèi)設值班采暖。外窗有必要是雙層密封窗。
內(nèi)廊式:凈化車間設在外圍,而走廊設在內(nèi)部,這種走廊的凈化度等級通常都較高,乃至和凈化車間同級。
兩頭式:凈化區(qū)設在一邊,另一邊設準凈化和輔佐用房。
中心式:為了節(jié)約用地、縮短管線,能夠凈化區(qū)為中心,上下左右被各種輔佐用房和蔭蔽管道的空間包圍起來,這種方法避開室外氣候對凈化區(qū)的影響,削減了冷熱能耗,利于節(jié)能。
