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真空泵冷卻水流不夠。應加大冷卻水流量。

裝配不當，使轉子軸心位移，造成單面磨損。應拆開檢查并重新裝配。

因加工不良或磨損造成配合間隙過大。應檢查真空泵腔、轉子、旋片、端蓋板之間的配合間隙，投規定的精度要求進行修復或更換。

真空泵運轉中摩擦發熱，溫升太高，使真空泵油變稀，密封性變差。應通冷卻水或用電風扇降溫，同時，檢查有關部件配合間隙并按規定精度要求進行修理或更換。

光照法。在天氣晴朗的日子，用工具將潤滑油撩起，與水平面成45°角。對照陽光，觀察油滴情況，在光照下，可清晰地看到真空泵油潤滑油中無磨削為良好，可繼續作用，若磨削過多，應更換潤滑油。油滴痕跡法。取一張干凈的白色慮試紙，滴油數滴在濾試紙上，待潤滑油滲漏后，若表面有黑色粉末，用手觸摸有阻塞感，則說明潤滑油里面雜質已很多，好的潤滑油無粉末，用手摸上去干而光滑，且呈黃色痕跡。

真空泵油的應用是廣泛的，主要有以下幾個方面：

1)低壓化學氣相沉積中的多晶硅制備工藝中；

2)半導體刻蝕工藝。在這些生產工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒；

3)除半導體工藝外的某些產生微粒的工藝，不希望微?；烊氡糜椭校Ｍ⒘Ｅ懦霰猛?，則用一定型式的干式機械真空泵可以滿足要求；

4)在化學工業、食品工業中的蒸餾、干燥、脫泡、包裝等，要防止有機溶液造成污染，適合用干式真空泵；

5)用做一般無油清潔真空系統的前級泵，以防止油污染。