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發布時間:2021-10-22 06:28  
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PVD鍍膜過程非常復雜,由于鍍膜原理的不同分為很多種類,僅僅因為都需要高真空度而擁有統一名稱。所以對于不同原理的PVD真空鍍膜,影響均勻性的因素也不盡相同。并且均勻性這個概念本身也會隨著鍍膜尺度和薄膜成分而有著不同的意義。PVD鍍膜加工過程的均勻性分析:化學組分上的均勻性:就是說在薄膜中,化合物的原子組分會由于尺度過小而很容易的產生不均勻特性,SiTiO3薄膜,如果鍍膜過程不科學,那么實際表面的組分并不是SiTiO3,而可能是其他的比例,鍍的膜并非是想要的膜的化學成分,這也是真空鍍膜的技術含量所在。
pvd真空蒸發鍍膜:定義:pvd真空蒸發鍍膜是在真空條件下,用蒸發器加熱蒸發物質使之汽化,蒸發粒子流直接射向基片并在基片上沉積形成固態薄膜的技術。真空蒸發踱膜主要經歷:1、采用各種能源方式轉換成熱能,加熱膜材使之蒸發或升華,成為具有一定能星的氣態粒子(原子、分子和原子團);2、離開膜材表面,具有相當運動速度的氣態粒子以基本上無碰撞的直線飛行輸運到基體表面;3、到達基體表面的氣態粒子凝聚形核后生長成固相薄膜;4、組成薄膜的原子重組排列或產生化學鍵合。