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              發布時間:2021-01-01 02:13  

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              好的潔凈車間設計不僅能節省能源、降低運行成本、降低人力投入,而且可以給生產提供安全可靠的保證。在3種潔凈系統中,FFU循環系統運行成本很低,潔凈度安全性很高,因此集成電路潔凈廠房多采用FFU循環系統。為減少空調系統和空調的漏風,采取相應的有效措施和方法,達到節能運行的目的。而潔凈度要求越高,溫濕度控制精度越高則潔凈室投資和運行成本越高,因此在大環境潔凈度或溫濕度要求相對較低的情況下,將一些關鍵的工藝設備布置在較高潔凈度或溫濕度控制區域內是集成電路制造潔凈廠房的設計趨勢。






              進入無塵車間潔凈室凈化車間無菌車間有效更衣流程:

              工作人員在更衣室的更衣、換鞋等行為應遵守一定的順序,否則會帶來交叉污染,起不到衛生防范的效果。

              規范的順序應為:

              a.進車間 一更換鞋、一更更衣、二更洗手、二更更衣、戴帽、緩沖手消毒、手部消毒、清水沖洗、雙手風干、鞋底消毒進入車間。

              b.出車間 二更更衣、一更更衣、換鞋、出更衣室。

              通過這樣的操作程序,能減少污染物、病菌帶入車間的可能。






               改變安徽車間凈化要求的溫濕度基數:維持安徽車間凈化達到一定的溫、濕度需耗用相應的能量,提高要求的溫、濕度基礎可以節能能量,若空氣參數要求為22℃±2℃和35%-50%相對濕度,在夏季運行中,如果安徽車間凈化內空氣溫度控制在23℃,相對濕度控制在60%,此時凈化空調系統機器露出點即可由12.2℃提高到16.5℃,如果系統處理風量按10000m3/H計,則運行中可節省處理空氣的冷量消耗為36.27kWH,全天按16H計,則可節省冷量580.3kw/d。2、GMP車間的清掃必須在上下班前、生產工藝操作結束后進行,并且要在凈化車間空調系統運行中進行,此外,清掃工作結束后,凈化空調系統要繼續運行,直到恢復規定的潔凈級別為止,開機運行時間一般不短于該GMP車間的自凈時間。





              7、溫濕度要求:十萬級潔凈室對溫度、濕度無特殊要求時,以穿著潔凈工作服不產生舒服感為宜,溫度一般控制在冬季20~22℃;夏季 24~26℃;波動±2℃。冬季潔凈室濕度控制在30-50%,夏季潔凈室濕度控制在50-70%。

              8、配電:潔凈室(區)的主要生產用房一般照度值宜≥300Lx;輔助工作室、人員凈化和物料凈化用室、氣閘室、走廊等的照度值宜為200~300Lx。






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