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發(fā)布時間：2020-10-31 05:31
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大塚電子（蘇州）有限公司主要銷售用于光學特性評價?檢查的裝置。其裝置用于在LED、 OLED、汽車前燈等的光源?照明產業(yè)以及液晶顯示器、有機EL顯示器等平板顯示產業(yè)以及其相 關材料的光學特性評價?檢查。歡迎新老客戶來電咨詢！
使用顯微光譜法在微小區(qū)域內通過絕i對反射率進行測量，可進行高i精度膜厚度/光學常數分析。
可通過非破壞性和非接觸方式測量涂膜的厚度，例如各種膜、晶片、光學材料和多層膜。 測量時間上，能達到1秒/點的高速測量，并且搭載了即使是初次使用的用戶，也可容易出分析光學常數的軟件
考慮到表面粗糙度測量的膜厚值[FE-0007]
當樣品表面存在粗糙度（粗糙度）時，將表面粗糙度和空氣（air）及膜厚材料以1：1的比例混合,模擬為“粗糙層”，可以分析粗糙度和膜厚度。此處示例了測量表面粗糙度為幾nm的SiN（氮化硅）的情況。
膜厚測試儀的預熱 關機超過3個小時開機必做。點擊“波數”，將波譜校準片放入儀器，將Ag部分移至十字線中間，鐳射聚焦，設定測量時間為6S重復測量次數為30~50次,點擊Go鍵，等待自動連續(xù)測量完成。
影響膜厚儀測量的的客觀因素
耦合劑對膜厚儀的影響。耦合劑是用來排除探頭和被測物體之間的空氣，使超聲波能有效地穿入工件達到檢測目的。如果選擇種類或使用方法不當，將造成誤差或耦合標志閃爍，無法測量。因根據使用情況選擇合適的種類，當使用在光滑材料表面時，可以使用低粘度的耦合劑；當使用在粗糙表面、垂直表面及頂表面時，應使用粘度高的耦合劑。
