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發布時間:2020-11-09 06:56  
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廣州帕納光電科技有限公司----安捷倫分子泵維修中心;
渦輪分子泵的轉子葉片具有特定的形狀,在它以20000~30000r/min的高速旋轉的同時,葉片將動量傳給氣體分子。葉片高速旋轉,其周邊的線速度一般200~300m/s,相當于空氣分子平均速率的一半。為了獲得高真空,渦輪分子泵中裝有多級。在分子流區域內,氣體分子與高速轉到的葉片表面碰撞,動量傳遞給氣體分子,使部分氣體分子在剛體表面的運動方向上,產生定向流動而被排出泵外,從而達到抽氣的目的。上級葉片輸送過來的氣體分子又會收到下級葉片的作用繼續被壓縮到更下級。因此,渦輪分子泵的的一個特點是對一般氣體的抽出極為有效。例如對于氮氣,其壓縮比可以達到109 但是渦輪分子泵抽除分子質量較小的氣體能力較差,例如氫氣,其壓縮比僅有103 。
新設計了獨立和一體式控制器,還開發了全新的智能控制軟件。新的控制軟件使用智能算法根據氣體負載的變化和實時溫度,自動調整泵的功率,并且為三種典型氣體分別做了專有的控制曲線。例如對于氮氣,其壓縮比可以達到109但是渦輪分子泵抽除分子質量較小的氣體能力較差,例如氫氣,其壓縮比僅有103。控制器新增加的主動剎車功能可在不破空的情況下快速停機,節省工藝時間并盡可能的縮短分子泵在共振區停留的時間,延長了軸承壽命。
軸封發熱填料壓得太緊或磨擦
處理方法:放松填料,檢查水封管;
水封圈與水封管錯位
處理方法:重新檢查對準;
沖洗、冷卻不良
處理方法:檢查沖洗冷卻循環管;
機械密封有故障
處理方法:檢查機械密封。
正常使用下,為什么分子泵油池會出現裂紋或者變形
原因:過熱,負載大
解決措施:檢查冷卻系,檢查系統
分子泵中經常掉出頂絲、鏍釘等物體,如M5的頂絲等,請問是否對分子泵的使用有影響?應如何解決?
原因:應是偶爾發生的事情,可能是平衡中遺漏的平衡釘,對分子泵沒有影響。
解決方式:應是偶爾發生的事情,可能是平衡中遺漏的平衡釘,對分子泵沒有影響。
軟啟動器開關電源在什么情況會導致程序流程遺失或是紊亂?
答:①短路②強影響③髙壓點火④覺得破譯。安捷倫分子泵維修中心
分子泵噪聲大怎樣定義?是不是有達標規范,多少錢?
答:低于72db達標,噪聲的尺寸不大好定義,必須專用儀器和特殊的接口測試。安捷倫分子泵維修中心