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生物法是近年來研究的處理技術之一，其突出的優點是處理成本低，無二次污染。雖然生物法凈化低濃度有機污染物效果明顯，但具有能耗低的優點，但空氣阻力大，降解速度慢，設備體積大，易受污染物濃度和溫度的影響。而且這種方法只適用于親水性和生物可降解性物質的處理，對于疏水性和難降解性物質的處理還是比較困難的。光敏半導體催化氧化或納米金屬氧化物光催化也是近年來的研究熱點。但該技術的降解效率受污染物擴散速率和催化劑表面界面控制，催化劑價格昂貴。目前光催化技術難以大規模工業應用，多局限于實驗研究和小風量應用。


因而不能滿足要求較高的排放標準，如處理后排入流量較小、稀釋能力較差的河流就可能引起污染，也不能直接用作自來水、工業用水和地下水的補給水源。三級處理是進一步去除二級處理未能去除的污染物，如磷、氮及生物難以降解的有機污染物、無機污染物、病原體等。廢水的三級處理是在二級處理的基礎上，進一步采用化學法（化學氧化、化學沉淀等）、物理化學法（吸附、離子交換、膜分離技術等）以除去某些特定污染物的一種“深度處理”方法。顯然，廢水的三級處理耗資巨大，但能充分利用水資源。

冷凝回收法：將廢氣直接冷凝或吸附濃縮后冷凝，冷凝液經分離，回收有價值的有機物。該法用于濃度高、溫度低、風量小的廢氣處理。但此法投資大、能耗高、運行費用大，因此無特殊需要，一般不采用此法。

吸收法：利用吸收液與廢氣相互接觸，使廢氣中的有害物質溶入吸收液中，從而使廢氣得到凈化。此方法簡單可靠，投資省，處理風量不受限制，適于處理低濃度并含顆粒物的廢氣。對不同的污染物，可選擇不同的液體吸收劑。但對于揮發性很強的有機溶液廢氣，由于不能用水來作吸收劑，所以，很難選擇到合適的吸收劑。