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什么是流量控制器

質量流量控制器，即MassFlowController(MFC)，不但具有質量流量計的功能，更重要的是，它能自動控制氣體流量，即用戶可根據需要進行流量設定，MFC自動地將流量恒定在設定值上，即使系統壓力有波動或環境溫度有變化，也不會使其偏離設定值。質量流量控制器（Mass Flow Controller縮寫為MFC）用于對于氣體或者液體的質量流量進行精密測量和控制。擴散，氧化，分子束外延，CVD，等離子刻蝕，濺射，離子注入，以及真空鍍膜設備，光纖熔煉，微反應裝置，混氣配氣系統，毛細管測量氣象色譜儀，光導纖維制造設備中。并廣泛用于石油化工。介質溫度或環境溫度變化會改變測量振動管的楊氏模量和影響零漂的結構等各種因素。冶金，制藥等。特點：精度高，重復性好。

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流量控制器特點

1、 穩定的流量供給，不受溫度、壓力變化

2、 寬量程比，可達100：1

3、 高達0.1%的重復性和1.0級的精度等級

4、 多參數顯示和輸出：溫度、壓力、流量等

5、 內置70余種氣體，觸屏式直接操作切換，無需重新校準

6、 標配三種顯示方式：數字、模擬和本地面板

流量控制器的控制響應速度

物理時間常數

物理時間常數用希臘字母Tau來表示，是現今為數不多的用來描述響應時間的標準之一，即：控制器到達設定值某個百分比所需要的時間，被定義為1-1/e， 其中e是作為自然對數底數的無理數，其值為2.72，所以1-1/e即為設定值的63.2%。雖然該定義是一個物理標準，可能說明不了什么問題，因為余下的設定值的36.8%所花費的時間可能多于或少于之前的63.2%。從下面示波器截圖中可以看到：ALICAT?質量流量控制器僅用了7.4毫秒便到達了設定值的63.2%。然而在低流速測量時因受管道內氣體對流的熱流影響，使安裝姿勢顯得重要。

任意設定值百分比變化區域

不少質量流量控制器的技術參數采用設定值某一百分比區間內的變化來定義設備響應速度，比如：從設定值的10%到達90%所需要的時間。由于和后的 10%控制響應曲線變化，由此而得出的控制響應速度可能無法與實際的控制性能等同。如下圖所示，ALICAT?質量流量控制器用了11.4毫秒到達設定值， 從示波器波形圖中可以清晰地觀察到：50%那段跨度，低于10%和高于90%那兩段的跨度則小了很多。就該圖而言，如果按照從設定值10%到達90%所用的時間來定義設備響應速度的話，那么結論是6~7毫秒。浸入式熱式質量流量計可測量低~中偏高流速(氣體2~60m/s)，插入式熱式質量流量計更適合于大管徑。

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分析流量控制器的應用領域

分流器決定主通道的流量。與它配套的流量顯示儀上設置有穩壓電源，數字電壓表，設定電位器，外設、內設轉換和三位閥控開關等。質量流量控制器抗干擾能力強，測量精度高、量程比大、工作穩定可靠、對安裝要求低、對流體狀態要求低，壓力損失小等優點，且易清洗、具備自排空功能。例如由于超過儀表使用溫度范圍的蒸汽掃線等操作，將會使檢測線圈損壞而使儀表無法再使用。

其基本技術指標已達到先進水平，每臺傳感器都由不銹鋼材料制造，多種輸出能滿足您的各種需求。可直接用來測量管道中介質的質量流量及總量、體積流量及總量、介質的密度、溫度、溶液的濃度以及較均勻混合的兩種液體各自的濃度等參數。為了保持兩個溫度傳感器的固定溫差需要電路對加熱答元件提供更多的功率，電路中輸出功率的大小與流體的質量有關，由此測量流專量。質量流量控制器即使在惡劣的工作環境下也能表現出優異的性能

提高流量測量系統的可靠性用于安全聯鎖報警的流量儀表如果不可靠，應該聯鎖動作時不動作，容易釀成事故，不該動作時亂動作，容易導致不應有的停車，造成損失。工業爐窯中的燃料流量計如果不可靠，造成流路堵塞，容易導致爐子熄火，釀成事故。用于過程控制的質量流量控制器儀表如果不可靠，容易為調節系統發出錯誤信息，導致調節系統失調，破壞生產過程的穩定，影響產品的質量、產量和物耗，造成損失。流量控制器熱式質量流量器的基本原理是利用外部熱源對管道內的被測流體加熱，熱能隨流體一起流動，通過測量因流體流動而造成的熱量（溫度）變化來反映出流體的質量流量。可以看出，流量儀表的可靠性是較為重要的。