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              發布時間:2020-12-05 06:58  

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              好的潔凈車間設計不僅能節省能源、降低運行成本、降低人力投入,而且可以給生產提供安全可靠的保證。在3種潔凈系統中,FFU循環系統運行成本很低,潔凈度安全性很高,因此集成電路潔凈廠房多采用FFU循環系統。機組所有進出管路全部保溫,閥門、接頭保溫要留出維護操作部位,如采用蒸汽盤管,在蒸汽管口處須安裝疏水器,排水通暢。而潔凈度要求越高,溫濕度控制精度越高則潔凈室投資和運行成本越高,因此在大環境潔凈度或溫濕度要求相對較低的情況下,將一些關鍵的工藝設備布置在較高潔凈度或溫濕度控制區域內是集成電路制造潔凈廠房的設計趨勢。






              衛生管理系統

              1、為了防止交叉污染,清掃凈化車間設施的工具均應按產品特點、工藝要求、空氣潔凈度級別的不同分別專用,垃圾裝入防塵袋中拿出。

              2、GMP車間的清掃必須在上下班前、生產工藝操作結束后進行,并且要在凈化車間空調系統運行中進行,此外,清掃工作結束后,凈化空調系統要繼續運行,直到恢復規定的潔凈級別為止,開機運行時間一般不短于該GMP車間的自凈時間。







              采用低阻力空氣過濾器:盡量采用低阻力空氣過濾器,以降低送風機的壓頭損失,減少電能的消耗,或及時清潔、更換過濾器,減少系統運行阻力,節省運行費用。空氣過濾器在使用中,其阻力達到初阻力的2倍時,則可更換,但為了減少系統運行中的電耗,如果經濟上又合理時,則可以在空氣過濾器的阻力達到初阻力的1.5倍時進行更換,這樣即可節省電耗,減少運行費用。充分發揮潔凈室圖紙審查中心的職能作用,像工程質監站監督施工質量一樣,審查、監督設計質量。中凈環球凈化可提供安徽車間凈化、凈化工程的咨詢、規劃、設計、施工、安裝、改造等配套服務。





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