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真空腔體加工

真空腔體在薄膜涂層、微電子、光學(xué)器件和材料制造中，是一種能適應(yīng)高真空環(huán)境的特殊容器。真空腔體通常包括一系列部品——如鐘形罩、基板、傳動軸以及輔助井,這些構(gòu)成一個完整的真空腔體。

相關(guān)真空機械加工：超高真空系統(tǒng)典型腔體、真空零部件加工、真空轉(zhuǎn)接頭、真空連接件。我們的制造工程師具有熟練的加工、焊接高真空和超高真空腔體用材料的能力，如304/304L/316/316L/316LN/410/416，我們有長期加工制造經(jīng)驗，制作材料有保證。真空腔體的制造從原料采購，制造工藝，焊接方法，表面處理，氦泄漏檢查，焊后加工出來的成品的尺寸測量，還有表面是否有磨砂粒，是否粗糙，是否美觀，是否進(jìn)行了表面處理，是否符合客戶的一系列系統(tǒng)中的運用,都由我們嚴(yán)格把關(guān)。真空室材質(zhì)：304SS、304LSS、316SS、316LSS、 鋁真空等級：基本壓力、可接受的的泄漏率表面處理：機械拋光、電解拋光、化學(xué)清洗特殊要求：真空烘烤、殘余氣體分析額外配件：盲板法蘭、旋轉(zhuǎn)位移器、觀察窗需求檢驗報告：三坐標(biāo)檢測報告、合格證書、材質(zhì)證明

以上就是為大家介紹的全部內(nèi)容，希望對大家有所幫助。如果您想要了解更多真空腔體加工的知識，歡迎撥打圖片上的熱線聯(lián)系我們。

真空腔體產(chǎn)品特點

沈陽鵬程真空技術(shù)有限責(zé)任公司——專業(yè)真空腔體供應(yīng)商，我們?yōu)槟鷰硪韵滦畔ⅰ?

1.真空環(huán)境使用，高低溫真空環(huán)境使用；采用不銹鋼，鋁，陶瓷等出氣率低的材料制作；

2.標(biāo)準(zhǔn)化設(shè)計，可根據(jù)客人要求定制不同形狀與使用環(huán)境腔體；

3.氦氣檢漏，保壓老化，達(dá)到客戶的要求。

應(yīng)用范圍：軍類單位，大專院校，科研院所，航空航天，生物制藥，微電子，新能源，新材料等等。

真空腔體中抽氣管道的設(shè)計原則

為一個工藝選擇真空泵時，工藝室和泵之間的抽氣管道可能和泵的選擇一樣重要。要使腔體抽氣速率達(dá)到大，需要筆直的抽氣管道(長度短)并使用直徑盡可能大的管道。

看起來似乎很簡單，但是這里有許多因素需要考慮。實際上，如果我們從物理學(xué)角度考慮，就可以明確哪些是關(guān)鍵因素。真空腔體

在穩(wěn)定狀態(tài)的條件下，如果抽氣管道內(nèi)沒有氣源(泄漏)或氣體減少(冷凝)，抽氣管道任何截面的質(zhì)量流量必須相同。簡單而言，進(jìn)入工藝室的氣體必須從泵出來。

已知氣體摩爾流量為M(公斤/摩爾)、抽氣速率為S(立方米/秒)、壓力為P(帕)、溫度為T(開爾文)，則質(zhì)量流量計算如下：

質(zhì)量流量(公斤/秒)=(M*P*S)/(Ro*T)

Ro=通用氣體常數(shù)

對于大多數(shù)抽氣系統(tǒng)而言，氣體溫度(T)在抽氣管道中不會顯著減少，而且可以合理地假定為恒定的。

在此情況下，抽氣管道任何截面(P*S)的乘積(稱為通量)相同。真空腔體

由于抽氣管道的壓力差是氣體流動的推動力，可見壓力(P)必須在工藝室中為高值，在泵入口為低值。

由于我們假定通量恒定，可見抽氣速率(S)在工藝室為小值，在泵入口為大值(等于泵速)。