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擴(kuò)散硅壓力傳感器簡(jiǎn)介

擴(kuò)散硅壓力傳感器是利用壓阻效應(yīng)原理，采用集成工藝技術(shù)經(jīng)過摻雜、擴(kuò)散，沿單晶硅片上的特點(diǎn)晶向，制成應(yīng)變電阻，構(gòu)成惠斯凳電橋。利用硅材料的彈性力學(xué)特性，在同一切硅材料上進(jìn)行各向異性微加工，就制成了一個(gè)集力敏與力電轉(zhuǎn)換檢測(cè)于一體的擴(kuò)散硅傳感器。

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　擴(kuò)散硅壓力傳感器選型

1、傳感器、變送器的選型：用戶根據(jù)自己所測(cè)壓力的性質(zhì)，首先應(yīng)確定選擇表壓（相對(duì)于當(dāng)?shù)卮髿鈮海⒉顗骸⒔^壓或負(fù)壓品種。如果測(cè)量液位，還要確定液位上方是自由大氣壓還是密封容器壓力。如果測(cè)量密封承壓容器內(nèi)的液位就應(yīng)該選用差壓產(chǎn)品。

　　2、產(chǎn)品量程的確定：從產(chǎn)品安全考慮，一般選擇使工作壓力值在標(biāo)準(zhǔn)量程值的60%-80%為宜，整個(gè)測(cè)量系統(tǒng)中可能出現(xiàn)的異常情況所導(dǎo)致的過載壓力不得超過產(chǎn)品允許的較大過載。測(cè)量動(dòng)態(tài)管路液體壓力時(shí)，還應(yīng)考慮液錘、氣錘效應(yīng)、沖擊壓力，適當(dāng)增大產(chǎn)品載量。

　　3、產(chǎn)品精度選擇：用戶可依據(jù)所檢測(cè)工況要求各項(xiàng)和某單項(xiàng)參數(shù)精度指標(biāo)，以便用適用的精度要求。產(chǎn)品給出的三項(xiàng)精度指標(biāo)是采用國(guó)際較小二乘法或端基平移法計(jì)算的。選用傳感器時(shí)。精度等級(jí)確定應(yīng)根據(jù)測(cè)量系統(tǒng)分配發(fā)給傳感器的很大誤差選項(xiàng)取。有時(shí)還應(yīng)考慮零位時(shí)漂、零位和滿度溫度系數(shù)帶入的附加誤差。

　　4、選擇產(chǎn)品的使用溫度范圍：變送器在組裝了電路后又進(jìn)行了綜合溫度補(bǔ)償，對(duì)于使用溫度范圍寬而又要求總精度高的用戶，還可在二次儀表數(shù)據(jù)處理中采用軟件執(zhí)行溫度誤差修正。超過補(bǔ)償區(qū)使用，溫度系數(shù)指標(biāo)可能會(huì)超標(biāo)，但仍可使用。長(zhǎng)期在溫度極限區(qū)工作，將影響產(chǎn)品使用壽命。

　　5、差壓傳感器的選擇：差壓型傳感器通常使用在高壓端壓力高于低壓端壓力的正差壓情況下，雖然擴(kuò)散硅傳感器都可同樣用于負(fù)差壓，一般兩引壓端基本對(duì)稱，但負(fù)壓端一般不另標(biāo)定，如用戶要求兩引壓端高對(duì)稱性，需特別告知。

　　6、頻響特性。

　　7、與被測(cè)介質(zhì)的匹配.

擴(kuò)散硅壓力傳感器的優(yōu)點(diǎn):

1、可進(jìn)行二次補(bǔ)償：擴(kuò)散硅壓力傳感器的靈敏度溫度系數(shù)和零點(diǎn)溫度系數(shù)能夠進(jìn)行補(bǔ)償，即使成品芯體也可進(jìn)行二次補(bǔ)償，所以傳感器的優(yōu)點(diǎn)容易發(fā)揮到很好。

2、信號(hào)輸出大：擴(kuò)散硅壓力傳感器的輸出大是它很了不起的一個(gè)優(yōu)點(diǎn)，因?yàn)檩敵龃鬄楹蠖说淖兯驼{(diào)理線路提供了很大的優(yōu)勢(shì)條件，分辨率高，靈敏度高。

3、體積小巧，利于安裝。

4、價(jià)格相對(duì)便宜，性價(jià)比高，這也是擴(kuò)散硅壓力傳感器在我們國(guó)家能夠廣泛應(yīng)用的一個(gè)原因。