愛德華真空泵中國代理鍍膜真空系統「在線咨詢」

愛德華真空泵軸承的檢修標準

   愛德華真空泵相對其他單級選片式真空泵具有更高的精度，同時結構相對來講比較復雜，所以我們在愛德華真空泵維修時需要制作精度較高的工具來對泵浦進行拆卸、安裝，下面就其軸承的檢修與裝配跟大家交流下。

   拆卸軸承應使用工具，安裝時不得用錘直接敲擊軸承，需敲擊時必須墊以軟金屬。

   裝配軸承時，應先檢查軸承質量、配合尺寸偏差等是否符合要求。

   軸承內圈端面應與軸肩靠緊

   軸承采用加熱安裝時，加熱可采用油浴，油溫不超過100-120度，軸承油浴時間10-15Min，嚴禁用火焰直接加熱軸承。

化學氣相沉淀化學氣相沉淀 (CVD) 系統具有 多種配置用于沉積多種類型的薄膜。制程 還以不同的壓力和流量狀態運行，其中的許多狀態 都使用含氟的干燥清潔制程。通俗來講，真空泵是用各種方法在某一封閉空間中改善、產生和維持真空的裝置。所有這些可變因素意味著您 需要咨詢我們的應用工程師之一來選擇適當的泵 和氣體減排系統以便大程度地延長我們產品的維修間隔并 延長您制程的正常運行時間。

干泵選擇

CVD 制程通常需要通過選擇適當的 干泵產品來克服四個特定挑戰。這些挑戰是：

粉末

許多制程會產生 大量粉末副產品。需要將真空泵設計成 能夠處理這些粉末而不被卡住。愛德華真空泵油Edwards提供采用新工藝生產的Ultragrade15、19、20、70泵油。在某些情況下，粉末實際上可能 很粘或需要高溫運行才能確保粉末中夾帶的其他 副產品不在泵內部冷凝并卡住泵機構。 對于幾乎所有產生粉末的制程，您將不得不使用 采用高扭矩電機的泵，以確保泵在應力下保持 旋轉。

冷凝

半導體 制程的某些副產品含有氣體，當氣體分壓 增加或與冷表面接觸時，這些氣體會從氣 相變為固相。在泵送這些副產品時， 您將需要非常熱的泵，是從入口到出口 具有盡可能一致的溫度分布的泵。

腐蝕

有些制程 需要泵送鹵化物。尤其是需要含氟的清潔制程來 保持艙室的清潔性，但被激的氟自由基 可能會侵蝕泵的內表面。如果制程主要使用 可能對泵造成腐蝕的化學品，您需要確保可以 將泵溫度設置為一個較低值以降低腐蝕風險。低振動的清潔真空對于確保系統的精密性和長正常運行時間至關重要。我們的泵設計 具有可選的溫度設和高旋轉 速度以降低腐蝕風險并降低泵中不可避免 發生的總體材料損失速率。對于某些 CVD 制程，需要在溫度設上 達到平衡，以確保避免任何冷凝問題， 同時不使腐蝕速度過高。

使用真空泵機組時需要注意什么?

1、在蒸餾系統和真空泵機組之間，必須裝有吸收裝置。

2、蒸餾前必須用水泵徹底抽去系統中溶劑的蒸氣。

3、如能用水泵抽氣的，則盡量用水泵，如蒸餾物質中含有揮發性物質，可先用水泵減壓抽降，然后改用油泵。

4、真空泵機組腔內容積不斷變化而形成排氣作用，要求潤滑油應具有合適的粘度和粘溫特性。

5、減壓系統必須保持密不漏氣，所有的橡皮塞的大小和孔道要合適，橡皮管要用真空用的橡皮管。磨口玻璃涂上真空油脂。

真空泵是一種較為精密的機械設備，用戶在使用過程中，真空泵抽真空難免出現抽氣量不足或者真空度不高的現象，引起這些現象的原因是很多的。

真空泵真空度降低該怎么辦？

真空泵真空度降低的故障原因：管道密封不嚴，有漏氣的地方;密封填料磨損;葉輪與端蓋的間隙過大;水環溫度過高(一般不應超過40℃)。

真空泵真空度降低的排除方法：擰緊法蘭螺釘或更換襯套;更換填料;調整間隙(一般應為0.15～0.2mm);增加水量并降低進水溫度。