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發布時間:2020-09-07 12:19  
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概述
EH 機械增壓泵以簡單的羅茨泵原理為基礎,仍是受歡迎的泵,可用于壓力范圍為 0.01 至 10 mbar、需要高抽速的應用場合。此泵必須始終由另一個提供相對于大氣壓的高壓差的泵作為前級。
機械增壓泵在相對較低的壓力下工作,不會暴露在與前級泵相同濃度的腐蝕性制程介質下,因此高度可靠。
應用
半導體制程、真空蒸餾、真空包裝、鋼脫氣、薄膜覆層、真空冶金、低密度風洞、空間模擬、真空浸漬、油干燥和脫氣、制藥冷凍干燥、CO2 激光
功能和優勢
適用于在 0.01 至 50 mbar/0.0075 至 37.5 Torr 的壓力范圍下、需要超過 3000 m3h1/1776 ft3min-1 的高抽速的應用場合。
它可在相對較低的壓力環境下表現出更高的可靠性。
EH 泵具有高質量的無油泵送機械裝置。這可提供:
安靜的無振動運行。
牢靠且防腐蝕。
先進的軸封技術,處理艙中不會出現油污染
防腐型泵送機械裝置采用高等級鑄鐵制造。
經驗證的軸封布置可確保沒有油進入泵送定子,并且由于不需要可能腐蝕或黏著的內部和外部旁通管道及閥門,因此可將維護要求降到低。
軸封的設計經過優化,可確保潤滑劑無法進入泵送機械裝置中。這可在需要高標準清潔程度的應用中保持增壓泵性能。此外,這可防止在公差非常嚴格的轉子葉和端面上堆積吸入的微粒。
動態平衡的轉子和精密研磨齒輪有助于實現泵的平穩、運行噪音小,而這些特點正是先進技術設備的制造商所需要的。
訂購信息
Edwards真空泵 EH4200 羅茨真空泵 愛德華羅茨泵 機械增壓泵
EH4200 Industrial
●EH4200IND 380-415 V, 3-ph, 50 Hz, 11 kW A30975946
●EH4200IND 200 V, 3-ph, 50 Hz, 11 kW NRC215000
●EH4200IND 208-230 V or 460 V, 3-ph, 60 Hz, 15 hp A30976982
●EH4200IND 200 V, 3-ph, 60 Hz, 15 hp NRB988000
EH4200 PFPE*
●EH4200FX 220-240 V or 380-415 V, 3-ph, 50 Hz, 11 kW On application
●EH4200FX 208-230 V or 460 V, 3-ph, 60 Hz, 15 hp On application
EH4200 Chemical**
●EH4200C 230 V or 460 V, 3-ph, 60 Hz, 15 hp A30956982
●EH4200T3 380-415 V, 3-ph, 50 Hz, 11 kW A30941935
●EH4200T160 380-415 V, 3-ph, 50 Hz, 11 kW A30979900






認為真空泵機組內密封水量不足,造成真空泵機組底部水量未充滿,氣水分離器內的空氣漏入真空泵內,使得真空泵內的負壓形成得不夠高,噴射器的工作抽吸力不足。3極限壓力渦旋式無油真空泵的極限壓力是指不進入氣體長期運轉,在測試罩內所能達到的穩定時的低壓力,用P。據此臨時采用手動啟動方式,先啟動密封水泵運行5min,然后再啟動真空泵,這樣有效地控制了真空的降低,同時將冷卻器進行清理(發現冷卻器內較臟),保證了密封水量充足。采取以上措施后,在倒換真空泵組運行過程中,未再有真空下降的異常發生。