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發布時間:2020-12-16 17:09  
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在各種檢漏應用場合中,氫氣檢漏法的出現為您帶來了更大的性能和效率的改善提高機會。檢漏的任務就是在制造、安裝、調試過程中,判斷漏與不漏、泄漏率的大小,找出漏孔的位置。氫氮混和氣檢漏法已在國內外廣泛應用于制冷、空調、汽車零部件、發動機、變速箱、減速機、閥門、藥品包裝、飛機油箱油路及其他密封件或管路檢漏。氫氣檢漏法檢測靈敏度高、節約成本、操作簡便,將是以后檢漏技術的發展趨勢。
真空設備檢漏
檢漏就是用一定的手段將示漏物質加到被檢設備或密封裝置器壁的一側,用儀器或某一方法在另一側懷疑有泄漏的地方檢測通過漏孔漏出的示漏物質,從而達到檢測的目的。如真空設備(真空鍍膜機,液晶注入機,PVD,半導體外延等等),需要在真空條件下工作,要求在工作時,空氣不能漏進工作腔體,否則生產不能進行,或者產生次品,浪費人力物力。檢漏的任務就是在制造、安裝、調試過程中,判斷漏與不漏、泄漏率的大小,找出漏孔的位置;在運轉使用過程中監視系統可能發生的泄漏及其變化。
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聽音法
氣體從小孔中噴出時,會發出聲音。聲音的大小和頻率取決于泄漏率的大小、兩側的壓力、壓差和氣體的種類等。根據氣體漏出時發出的聲音判斷有無泄漏。
該方法的靈敏度很大程度上受環境的影響。若工廠噪音較大,則小的聲音就不易聽清。質量分析器是一個均勻的磁場空間,不同離子的質荷比不同,在磁場中就會按照不同軌道半徑運動而進行分離,在設計時只讓氦離子飛出分析器的縫隙,打在收集器上。使用聽診qi,某種程度上可以消除周圍噪音的影響,聽清泄漏聲音,但有時與泄漏無關的聲音(例如電機的聲音)也會混雜進來,從而影響檢漏靈敏度。為了辨別較小的聲音,可用話筒和放大器將聲音放大。但此時其它聲音也同時放大,多數情況下較難收到好的效果。在檢測壓力為0.3MPa,周圍非常安靜的條件下,可以聽出5′10-2cm3/s的泄漏率的聲音。
這種方法既簡單、經濟。使用聽診qi,在某種程度上可以判斷出泄漏點。如單憑耳朵聽,往往因聲波的反射或吸收,很難確定泄漏點,即發聲地點。由于檢測環境條件不同,所得到的結果可能偏差很大。因此,這種方法的穩定性和可靠性很差。應與其它檢測法并用。
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如何判斷真空系統是否存在漏氣,通常采用靜態升壓法,即把容器抽到一定壓強后,關閉閥門將被抽容器與泵隔開,若容器漏氣或材料放氣,容器中的壓強將隨時間而上升。基于其在處理環境中背景氫氣濃度方面所擁有的獨特技術,氫氣檢漏儀具有非常可靠的敏感度和測量指示。用真空計每隔一定時間計量一次容器中的壓強,可得出壓強/時間曲線。由于容器的漏氣與出氣情況不同,其曲線也不同
1.直線A
壓強不隨時間變化,說明系統即不漏氣,也不放氣。真空度上不去的原因是泵工作不良。
2.直線B
壓強期初上升很快,而后上升速度漸漸減慢而趨于平衡,這說明容器沒有漏氣。真空度上不去的原因主要是放氣的影響。因為放氣速率隨壓強的升高和時間的延長而降低,故曲線漸趨向于平衡。
3.直線C
是一斜率為ΔP/Δt的直線。這說明只有漏氣而沒有放氣。
4.曲線D
開始壓強上升較快,而后漸漸減慢,后變成斜率為ΔP/Δt的直線。這說明容器即有放氣也有漏氣。曲線D可以認為是B和C的疊加。如果出現曲線C和D的情況,則判定系統有漏氣。