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發布時間:2020-12-31 11:29  
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光纖加速度傳感器按光學敏感原理主要可以分為光強調制型、相位調制型和波長調制型,業已開展了廣泛、深入的研究,其中MEMS光纖加速度傳感器引起了人們廣泛的關注。MEMS光纖加速度傳感器采用MEMS敏感結構和光纖檢測技術,融合了MEMS微制造技術和光纖傳感技術的特點,具有體積小、靈敏度高、批量制造等技術優勢。
加速度是一個矢量信號,加速度傳感器通常具有方向響應,據此MEMS光纖加速度傳感器可以劃分為單軸、雙軸和三軸MEMS光纖加速度傳感器。在諸如矢量水聽器,慣性導航和姿態控制等實際應用中,通常需要完整的加速度信息,因此,基于MEMS技術的三軸光纖加速度傳感器具有重要意義。