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真空泵的發展

隨著真空應用的發展，真空泵的種類已發展了很多種，其抽速從每秒零點幾升到每小時上萬立方米。隨著真空技術在工業和科學研究領域中對其應用壓強范圍的要求越來越寬，大多需要由幾種真空泵組成真空抽氣系統共同抽氣后才能滿足工業和科學研究過程的要求，由于真空應用部門所涉及的工作壓力的范圍很寬，因此任何一種類型的真空泵都不可能完全適用于所有的工作壓力范圍，只能根據不同的工作壓力范圍和不同的工作要求，使用不同類型的真空泵。為了使用方便和各種真空工藝過程的需要，有時將各種真空泵按其性能要求組合起來，以機組型式應用。

真空泵的分類

按真空泵的工作原理，真空泵基本上可以分為兩種類型，即變容真空泵和動量傳輸泵。

變容真空泵是利用泵腔容積的周期變化來完成吸氣和排氣以達到抽氣目的的真空泵。氣體在排出泵腔前被壓縮。

動量傳輸泵（分子真空泵）依靠高速旋轉的葉片或高速射流，把動量傳輸給氣體或氣體分子，使氣體連續不斷地從泵的入口傳輸到出口。

變容真空泵又分為：往復式，旋轉式（旋片式、滑閥式、液環式、羅茨式、螺旋式、爪形轉子式），其它型式。

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