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真空機組介紹

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真空機組是將真空泵與相應的真空元件按其性能要求組合起來構成的抽氣裝置。其特點是結構緊湊,安裝使用方便。

真空抽氣機組可分為低真空抽氣機組、中真空抽氣機組、高真空抽氣機組、超高真空抽氣機組、無油真空抽氣機組等。真空機組的名稱以主泵命名。

真空機組安全風險管控措施分析

1、容器炸裂管控措施分析

真空機組排氣過濾器應用足夠大的容量以保證真空泵在大的抽氣量的條件安全運行。提供措施確保其過濾器在飽和或阻塞情況下不會導致泵入口壓力超過其允許的高工作壓力。在泵的排氣口處或真空系統內積累的碎片無法避免時，應配排氣壓力監控裝置或壓力調節閥。

2、其他事故管控措施分析

1）真空機組中各種泵所需冷卻介質以及水環泵工作液的供給管路配備斷液報警裝置。

2）真空機組安裝應急停止設備裝置，在發生緊急情況時能及時關停設備。

真空機組的構成與分類

真空機組一般由下列元件構成：各種真空泵；真空測量裝置；真空閥門；真空管道和一些其它元件，例如撲集器、真空接頭、儲氣罐、波紋管、除塵器和真空繼電器等。

按機組的工作壓力分，有粗真空機組(>1330Pa)；低真空機組(1330~0.13Pa)；高真空機組(0.13~1.3×10-6 Pa)；如在擴散泵進氣口上邊增設鈦升華阱，可進一步降低來自擴散泵的氮氣分壓力，能獲得10-11Pa的超高真空。超高真空機組(1.3×10-6~1.3×10-11 Pa)；極高真空機組(<1.2×10-11 Pa)。