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              發(fā)布時間:2021-01-22 22:54  

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              通常,標(biāo)準(zhǔn)氣體的使用有效期是根據(jù)穩(wěn)定性試驗結(jié)果來加以確定的。有效期是指濃度變化率不超過規(guī)定指標(biāo)的時間間隔。襄陽標(biāo)準(zhǔn)氣體價格,襄陽標(biāo)準(zhǔn)氣體分享鋼瓶標(biāo)準(zhǔn)氣體濃度很低時,其濃度變化較大,因此從穩(wěn)定性的現(xiàn)點來看,組分氣體濃度越高越穩(wěn)定。

              高壓鋼瓶標(biāo)準(zhǔn)氣體的濃度即使在5*10-5以上,鋼瓶中的組分氣體仍在發(fā)生變化,所以一般把能夠保證標(biāo)準(zhǔn)值的有效期定為半年到一年。如果有些準(zhǔn)氣體已超過有效期,但容器中的殘壓在8106kPa(80atm)以上時可以再次測定,確定值后繼續(xù)使用。

              隨著用戶消耗標(biāo)準(zhǔn)氣體而殘壓變化時,被吸附在容器內(nèi)壁上的各種成分氣體便解吸下來,使?jié)舛戎蛋l(fā)生變化。一般規(guī)定,高壓鋼瓶標(biāo)準(zhǔn)氣體的殘壓低于1013.25kPa(10atm)時,停止使用。




              液態(tài)氦氣沸點極低,當(dāng)溫度降至2

              液態(tài)氦氣沸點極低,當(dāng)溫度降至2.178K時,就轉(zhuǎn)變?yōu)橐环N粘度接近于零的具有流動性的液氦,此時的液態(tài)氦氣被稱為超流體。液態(tài)氦氣已實際應(yīng)用在許多晶圓處理程序步驟中,它可在高壓氣相化學(xué)沉積(HP-CVD)以及蝕刻程序上作為晶背冷卻之用,并且它也可用作為攜載氣體應(yīng)用在CVD以沉積抗反射層、氧氮化合物及其它薄膜用。


              中的氦氣是鈾之類的性元素衰變的產(chǎn)物

              中的氦氣是鈾之類的性元素衰變的產(chǎn)物。只有在礦附近有鈾礦時,氦氣才能在中匯集。美國生產(chǎn)的氦氣要占世界總產(chǎn)量的80%以上。中國雖然也有一定的資源,可是到目前為止,唯有四川內(nèi)江威遠的氣田曾得到提氦利用,其中的氦含量只有0.2%,而且現(xiàn)在已經(jīng)枯竭。中國近年來對氦氣的需求量越來越大。受制于氦氣資源匱乏、提取氦氣的成本較高,中國在需求上一直依賴進口。


              氣相沉積氣體:含鹵化物及鹵碳化合物為主,如、三氟化氮(NF3

              (3)蝕刻清洗氣體:以含鹵素的鹵化物及鹵碳化合物為主,如、三氟化氮(NF3)、(HBr)、四氟化碳(CF4)、六氟(C2F6)等。(4)反應(yīng)氣體:以碳系及氮系氧化物為主,如二氧化碳(CO2)、氨(NH3)、氧化亞氮(N2O)等。(5)金屬氣相沉積氣體:含鹵化金屬及有機烷類金屬,如六氟化鎢(WF6)、(Ga(CH3)3)等。


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