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凈化車間

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一、布置合理、緊湊。潔凈室或潔凈區內只布置必要的工藝設備以及有空氣潔凈度等級要求的工序和工作室。

二、在滿足生產工藝要求的前提下，空氣潔凈度高的潔凈室或潔凈區宜靠近空氣調節機房，空氣潔凈度等級相同的工序和工作室宜集中布置，靠近潔凈區人口處宜布置空氣潔凈度等級較低的工作室。

三、凈化工程內要求空氣潔凈度高的工序應布置在上風側，易產生污染的工藝設備應布置在靠近回風口位置。

四 、凈化工程應考慮大型設備安裝和維修的運輸路線，并預留設備安裝口和檢修口。

凈化車間的等級和含義

凈化車間是對空間內空氣中的微粒做到控制，所構造的特殊封閉性建筑。總體來說，凈化車間也會對溫濕度、氣流運動模式、與震動噪音等環境因素做控制。凈化車間對等級的不同，對一定空間內的微塵粒子容許量有一定規范，在國際標準中分為ISO-14644，ISO-14644的等級定義。這里所指的微粒塵埃是肉眼無法看見的灰塵及粒子，一般空氣清凈機無法完全清除之灰塵。凈化車間一般分為電子、精密工業用（ICR）；及需控制微生物濃度等制藥、食品產業用。

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在JIS 標準中，凈化車間清潔度，分8 個等級，通常清潔度是指空氣的潔凈等級，分為1到8 個階段。在1 立方公尺的空氣中，粒徑0.1微米的灰塵若是在10 個以下時為1；百個以下是100=102 是等級2；千個以下時是1000=103等級3，以此類推。21 世紀，科技產業的發展，加速了產業結構的變革，凈化車間設立的必要性也相對地提高。產品逐漸的小型化和精密化，塵埃和溫濕的變化對產品的完成度同樣造成極大的危害，導致品質下降，隨著產品的高品質要求，環境無塵化的要求也越來越高。因此在凈化車間中用防塵材料及產品都顯得非常重要。凈化車間屬于人造的環境，里面含有的粒子遠低于一般的環境，隨著集成電路的級數的快速成長，也增加了對制造環境(凈化車間)潔凈度要求，在工業上即使使粒子之尺寸想小于0.1 微米.也可能阻礙產品的制作或降低其壽命。優于納米技術的興起，造成半導體關鍵尺寸持續縮小，集成電路積集度不斷地增加，塵粒更容易使芯片失效或可靠度下降。例如當金屬塵粒落到金屬導線時，就可能會使金屬導線形成短路。所以凈化車間為集成電路制造必不能少的因素。

潔凈室1、潔凈室及相關受控環境潔凈室及其附屬的、輔助的、相聯系的開放或封閉的內部或周邊空間，該空間的懸浮微粒濃度等參數也受到符合相關標準的控制。2、單向流潔凈室由方向單、流線平行并且速度均勻穩定的單向流流過房間工作區整個截面的潔凈室。3、非單向流潔凈室是指流線不平行、方向不單一、速度不均勻而且有交叉回旋的紊亂氣流流過房間工作區整個截面的潔凈室。亦稱亂流潔凈室。4、混合流潔凈室同時分別存在單向流和非單向流兩種氣流流型的潔凈室。5、潔凈工作棚潔凈工作棚是一種可提供局部高潔凈環境的空氣凈化設備。主要由箱體、風機、初效空氣過濾器、阻尼層、燈具等組成，外殼噴塑。該產品既可懸掛，又可地面支撐，結構緊湊，使用方便。可以單個使用，也可多個連接組成帶狀潔凈區域。潔凈工作棚6、氣溶膠懸浮在空氣中的、固態的或液態的、活性的或非活性的物質，其粒徑在10nm~100μm的范圍。7、生物氣溶膠在空氣中懸浮的微小固體或液體微粒的分散系。8、浮游菌懸浮在空氣中的帶菌微粒。9、沉降菌降落在表面_上的帶菌微粒。10、測試用氣溶膠呈氣態懸浮的固體或液體的微粒，其粒徑分布和濃度已知且受控。11、泄漏空氣過濾器系統因完整性不佳或有缺陷所引起的污染物透過，透過的污染物超過下風向濃度預計值。12、檢漏找到過濾器和機組部件泄漏的方法，即使用氣溶膠光度計或光學粒子計數器以相互重疊的掃描區域掃描通過測試區。