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發布時間:2021-10-23 03:01  
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設計凈化系統組織的原則是相鄰二級過濾器的效率不能太接近,也不能相差太大。一般采用初效、中效、亞(或)三級過濾器。也可分四級,增加一級過濾器。凈化工程在設計時,工程的墻、頂板材一般多采用50mm厚的夾芯彩鋼板,其特點為美觀、剛性強。圓弧墻角、門、窗框等一般采用氧化鋁型材。10級:主要用于帶寬小于2微米的半導體工業。其空氣凈化要求僅次于1級,并且我國半導體技術也在發展之中,在未來對潔凈度的要求更加高。

凈化工程在設計時,工程的墻、頂板材一般多采用50mm厚的夾芯彩鋼板,其特點為美觀、剛性強。圓弧墻角、門、窗框等一般采用氧化鋁型材。具體工藝對溫度的要求以后還要列舉,但作為總的原則看,由于加工精度越來越精細,所以對溫度波動范圍的要求越來越小。例如在大規模集成電路生產的光刻曝光工藝中,作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數的差要求越來越小。地面可采用環氧自流坪地坪或耐磨塑料地板,有防靜電要求的,要選用防靜電型。送回風管道一般用鍍鋅鋼板,不宜選用玻璃棉類材料保溫。照明應選用凈化車間燈具。

壓力差的維持依靠新風量,這個新風量要能補償在這一壓力差下從縫隙漏泄掉的風量。所以壓力差的物理意義就是漏泄(或滲透)風量通過潔凈室的各種縫隙時的阻力。現在國內的相關企業很多,所以凈化工程企業之間的競爭也很激烈,因為科技的發展使得市場對凈化工程的要求高了起來,從以前的價格競爭變成了現在的價值競爭。所以相關的凈化工程企業應該提高自身的自主研發能力,不斷的發展創新,才能適應這個競爭激烈的市場。濕度過高產生的問題更多。相對濕度超過55%時,冷卻水管壁上會結露,如果發生在精密裝置或電路中,就會引起各種事故。相對濕度在50%時易生銹。此外,濕度太高時將通過空氣中的水分子把硅片表面粘著的灰塵化學吸附在表面耐難以清除。

1級:主要應用于電子工業,這是目前對凈化工程要求高的環境,集成電路要求的精度要達到亞微米。隨著微電子工業技術領域的突飛猛進,對潔凈室的要求越來越高。及時生產間內的例子直徑僅有1微米,也會使產品壽命受到影響。要說凈化工程在發展的前景方面,形勢還是非常好的,市場需求更是一片大好。因為我們國家的制藥、電子信息等行業都在迅速發展,所以對凈化工程行業的發展起到了帶動的作用。在這里需要提醒大家的是自從我們國家的方面的改革條文GMP-2010發布之后,既推動了生物和食品化工行業的發展,也間接的推動了凈化工程行業的發展。而且相關方面的政策支持也讓凈化工程行業的發展機遇推到了。直徑100 um的硅片,溫度上升1度,就引起了0.24um線性膨脹,所以必須有±0.1度的恒溫,同時要求濕度值一般較低,因為人出汗以后,對產品將有污染,特別是怕鈉的半導體車間,這種車間不宜超過25度。
