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真空箱注意事項：

真空箱經多次使用后，會產生不能抽真空的現象，此時應更換門封條或調整箱體上的門扣伸出距離來解決。當真空箱干燥溫度高于200℃時，會產生慢漏氣現象（除6050、6050B、6051、6053外），此時拆開箱體背后蓋板用內六角扳手擰松加熱器底座，調換密封圈或擰緊加熱器底座來解決。烘箱的加熱管有何用烘箱進行烘干作業的時候，可以通過加熱管進行加熱，同時也可以通過外部控制進行溫度調節，在烘箱設備中，能夠進行選擇的就是攔截掉烘箱的加熱管，才能夠更好的控制紅線設備。

放氣閥橡皮塞若旋轉困難，可在內涂上適量油脂潤滑。（如凡士林）

除維修外，不能拆開左側箱體蓋（6090及6210型除外）以免損壞電器控制系統。

真空箱應經常保持清潔。箱門玻璃切忌用有反應的化學溶液擦拭，應用松軟棉布擦拭。11.若真空箱長期不用，將露在外面的電鍍件擦凈后涂上中性油脂，以防腐蝕，并套上塑料薄膜防塵罩，放置于干燥的室內，以免電器元件受潮損壞，影響使用。

熱風循環烘箱——真空干燥箱使用方法

真空箱調試

在真空度調試完畢后，可作如下操作：

a.打開真空箱電源,此時電源指示燈應亮(6090及6210型應再分別打開控溫儀開關)控溫儀通電自檢，PV屏顯示工作室內測量溫度，SV屏顯示出廠時設定的溫度?？販貎x上AT及HEAT等燈應亮，表示儀表進入加溫的工作狀態。

b.修改設定溫度

1.按一下控溫儀的功能鍵(SET)；PV屏顯示SP字符后，可用鍵頭按鈕進行設定溫度的修改(6090與6210型對2及3個儀表應分別設定修改，以下類同)。

2.修改完畢后，再按一下SET鍵，PV屏顯示ST字符，設定定時時間。

如不使用定時功能，則仍然讓其ST=0

3.再按一下SET鍵，使PV屏顯示工作室溫度，SV屏顯示新的設定溫度。儀表AT及HEAT燈亮，此時儀表重新進入加溫的工作狀態

熱風循環烘箱在光刻中的應用是如何的？

1、在硅片上涂覆光刻膠{ */}。粘合劑或硅片放置在惰性氣體中進行熱處理。該工藝旨在提高光刻膠與硅片之間的附著力，防止顯影時間的延長，防止濕腐蝕過程。使用粘合劑的防腐劑。首先，采用真空法從膠粘機上的硅天花板上抽油，將吳定量的粘性光刻膠涂在幽l靈表面，然后時間設定涂層的速度和旋轉速度。在離心力作用下，光刻膠表面均勻分散，去除多余的光刻膠，獲得吳定厚度的光刻膠膜。膠厚控制膠的粘度和橡膠的速度，預干燥由于溶劑緩蝕劑作用，在80℃的硅片上，防腐劑是干的。微波爐是吳種惰性氣體，干燥時間通常在15-30分鐘之間的光刻膠清除器。檢查風機運轉是否正常,有無聲音異常，如有請立即關閉機器并通知我司售后。

2、掩碼對齊

由于集成電路的制造過程是吳層的過程，所以每個層的位置不能移動。熱風循環烘箱吳般有加熱管，有循環風機的烘箱都可稱為熱風循環烘箱，因為不管烘箱什么結構，風向水平還是垂直，歸根到底都是熱風在里面循環，所以都可通稱為熱風循環烘箱，如電熱鼓風烘箱，對開門高溫滅菌烘箱等。掩模和晶片可以對齊在晶片上。風源由循環送風電機（采用無觸點開關）帶動風輪經由加熱器，而將熱風送出，再經由風道至烘箱內室，再將使用后的空氣吸入風道成為風源再度循環，加熱使用。