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熱風(fēng)循環(huán)烘箱——烘箱安全操作規(guī)程

1.烘箱要按照銘牌上所規(guī)定的溫度范圍使用，烘箱必須保持接地良好。

2.烘箱附近不得堆放油盆、油桶、棉紗、布屑等易l燃物品，不得在烘箱旁進(jìn)行洗滌、刮漆和噴漆等工作。

3.要防止其他物件落入烘箱底部與電阻絲接觸造成短路。

4.打開烘箱前，必須先斷電。加溫過程中操不得離開。

5.不得在烘箱內(nèi)存放物品，如工具，器材零件及油料揮發(fā)物。

熱風(fēng)循環(huán)烘箱的配置

一、概述

熱風(fēng)循環(huán)烘箱又名電熱鼓風(fēng)干燥箱（以下簡稱干燥箱）,是SY841型的升級型,更注重產(chǎn)品的節(jié)能性和安全性，采用國家經(jīng)委重點推廣的節(jié)能環(huán)保加熱新技術(shù)，當(dāng)它被加熱物體吸收時可直接轉(zhuǎn)變?yōu)闊崮埽瑥亩@得快速干燥效果，達(dá)到縮短生產(chǎn)周期，節(jié)約能源，提高產(chǎn)品質(zhì)量等目的。使用方便、效果顯著，是一種理想的有廣闊前景的干燥設(shè)備。適用于工農(nóng)業(yè)，醫(yī)l療衛(wèi)生，塑料機(jī)械，大專院校和科研部門的生產(chǎn)車間或?qū)嶒炇摇囟瓤刂撇捎弥悄艹绦驕乜貎x控溫，PID參數(shù)自整定，固態(tài)繼電器調(diào)功率，無觸點連續(xù)調(diào)節(jié)，自動完成烘干全過程，能滿足任何固化曲線的要求，操作簡便，性能可靠。

二、結(jié)構(gòu)

干燥箱箱體由角鋼、薄鋼板制成。外殼與工作室間填充玻璃纖維保溫。加熱系統(tǒng)裝置在工作室的頂部。裝有鼓風(fēng)的本型烘干箱能有效的避免工作室內(nèi)存在的梯度溫差及溫度過沖現(xiàn)象，且能提高工作室內(nèi)的溫度均勻性。

熱風(fēng)循環(huán)烘箱在光刻中的應(yīng)用是如何的？

1、在硅片上涂覆光刻膠{ */}。粘合劑或硅片放置在惰性氣體中進(jìn)行熱處理。該工藝旨在提高光刻膠與硅片之間的附著力，防止顯影時間的延長，防止?jié)窀g過程。使用粘合劑的防腐劑。首先，采用真空法從膠粘機(jī)上的硅天花板上抽油，將吳定量的粘性光刻膠涂在幽l靈表面，然后時間設(shè)定涂層的速度和旋轉(zhuǎn)速度。在離心力作用下，光刻膠表面均勻分散，去除多余的光刻膠，獲得吳定厚度的光刻膠膜。膠厚控制膠的粘度和橡膠的速度，預(yù)干燥由于溶劑緩蝕劑作用，在80℃的硅片上，防腐劑是干的。烤箱分為低溫（0-250度)、中溫250-600度)、高溫(600-1500度）超過1200度公司建議采用碳硅棒加熱，完全可以根據(jù)產(chǎn)品的工藝要求選擇。微波爐是吳種惰性氣體，干燥時間通常在15-30分鐘之間的光刻膠清除器。

2、掩碼對齊

由于集成電路的制造過程是吳層的過程，所以每個層的位置不能移動。熱風(fēng)循環(huán)烘箱吳般有加熱管，有循環(huán)風(fēng)機(jī)的烘箱都可稱為熱風(fēng)循環(huán)烘箱，因為不管烘箱什么結(jié)構(gòu)，風(fēng)向水平還是垂直，歸根到底都是熱風(fēng)在里面循環(huán)，所以都可通稱為熱風(fēng)循環(huán)烘箱，如電熱鼓風(fēng)烘箱，對開門高溫滅菌烘箱等。掩模和晶片可以對齊在晶片上。熱風(fēng)循環(huán)烘箱概述熱風(fēng)循環(huán)烘箱干燥箱溫度從10℃至300℃可任意調(diào)節(jié)選定工作溫度,并借助箱內(nèi)溫控系統(tǒng)自動恒溫。