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發布時間：2020-07-30 18:59
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分子泵在國外半導體領域里的許多工藝場合是用來代替低溫泵，尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一，所以分子泵的排氣時間比低溫泵長。為了提高抽速，國外在分子泵的入口側裝一個-130℃～-150℃的低溫冷板，稱之為低溫分子泵，水蒸氣被低溫板捕獲，其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應用，既提高了生產效率又改善了膜層質量。隨著中國半導體工業、薄膜產業和科學研究事業迅速發展，分子泵應該是中國真空泵制造業發展的重點。首先，分子泵要從小到大建立完整系列，以滿足不同場合的需要。
國外干泵市場的不斷增長，其主要驅動來自于半導體行業、化學工業、薄膜產業的迅速發展。在日本，半導體行業已全部用干式真空泵代替油封式機械泵，歐美半導體行業45%以上用干式真空泵代替了油封式機械泵，大大提高了產品的性能和質量。為了滿足不同應用領域和不同工況的要求，國外有多級羅茨真空泵、多級爪式真空泵、螺桿式真空泵、渦旋式真空泵、往復式活塞真空泵以及渦輪式無油真空泵等。極限壓力從10Pa～10-2Pa，抽速從20m3/h～500m3/h。
真空泵吸入的如果是腐蝕性氣體，會與油發生化學反應，腐蝕泵內零件；吸入空氣中往往含有水汽冷凝水，引起真空泵油的乳化并使金屬腐蝕，所以要求具有良好的抗腐蝕和抗乳化性。
主要要求真空泵中不攜帶輕質組分，以免影響油品的飽和蒸氣壓。
極限壓力是真空泵油重要的使用性能指標以了解在真空極限壓力下真空泵的極限壓力。
某公司的300MW機組，每臺機組配備2臺機械真空泵，其中1臺運行，1臺備用。真空泵用于機組啟動時抽真空，正常運行時用于抽出凝汽器中未凝結的氣體。該泵配備電機160kW，轉速590r/min，額定電流330A，電壓380V，B級絕緣，正常運行時電流220～230A。每年夏季，電機溫度都會超限，加裝臨時冷卻風機，但收效不大。電機長期高溫運行會造成絕緣老化，縮短其使用壽命。對真空泵電機溫度高的原因分析如下。
過度段真空蒸餾：指體系在第二段真空度蒸餾完畢，需要切換到高真空蒸餾時，因體系內殘留溶劑較少，第二段真空度已無法再蒸出溶劑（除非加大蒸汽，但易變質或使物料中溶劑殘留較高，一般不這樣操作），此時會開啟羅茨機組，繼續將剩下的溶劑蒸出。然而，體系殘留溶劑的蒸發，會導致真空度比正常的高真空蒸餾體系低很多，混用會造成正常高真空蒸餾體系斷流、沖料及物料互串，且該過度段持續時間相對較長，不宜讓其他高真空用戶等待。
2、分析
該工段各真空用途持續時間都較長，且同一時段可能存在多用途工況，因此，需將不同用途的泵分開。
在化工和石油部門的生產中，原料、半成品和成品大多是液體，消防泵而將原料制成半成品和成品，需要經過復雜的工藝過程，泵在這些過程中起到了輸送液體和提供化學反應的壓力流量的作用，此外，在很多裝置中還用泵來調節溫度。
在農業生產中，泵是主要的排灌機械。我國農村幅原廣闊，每年農村都需要大量的泵，一般來說農用泵占泵總產量一半以上。
在礦業和冶金工業中，泵也是使用的設備。礦井需要用泵排水，在選礦、冶煉和軋制過程中，需用泵來供水先等。
在電力部門，站需要核主泵、二級泵、三級泵、熱電廠需要大量的鍋爐給水泵、冷凝水泵、循環水泵和灰渣泵等。
