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發布時間:2021-09-17 16:57  
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高大上的電子氣體——特種氣體
我國特種氣體市場起步較晚,所以在技術領域較國外巨頭企業有一定的差距,也正是因為如此特種氣體市場長期被外企所壟斷。但近年來國內電子氣體奮起直追,表現格外搶眼。
伴隨著國民經濟的發展,特別是21世紀后我國電子行業的突飛猛進,國內特種氣體公司意識到了專有技術的重要性。我國在特種氣體生產、儲存等領域上取得了重要突破,特別是電子特氣目前基本實現了國產化,基本打破了國外企業的壟斷。
近年來我國微電子、光電子等電子信息產業高速發展,促使這一塊所需使用氣體的飛速發展。由于微電子、光電子產業對氣體的使用要求極高,所以我們特將這個領域所使用的特種氣體叫電子特氣。
特種氣體在LED中的應用
特種氣體是光電子、微電子等領域,特別是在超大的規模集成電路、液晶顯示器件、非晶硅薄膜太陽能電池、半導體發光器件和半導體材料制造過程不可缺少的基硅性支撐源材料。它的純度和潔凈度直接影響到光電子、微電子元器件的質量、集成度、特定技術指標和成品率,并且從根本上制約著電路和器件的性和準確性。
半導體工業用氣體品種多、質量要求高、用量少,大部分是有毒或腐蝕性氣體。品種高達百余種。半導體工業特種氣體應用分類,主要包括:
1. 硅族氣體:含硅基的類,如、二氯二氫硅、乙等。
2. 摻雜氣體:含硼、磷、等三族及五族原子之氣體,如三氯化硼、三、磷烷、烷等。
3. 蝕刻清洗氣體:以含鹵化物及鹵碳化合物為主,如、三氟化氮、、四氟化碳、六等。
4. 反應氣體:以碳系及氮系氧化物為主,如二氧化碳、氨、氧化亞氮等。
5. 金屬氣相沉積氣體:含鹵化金屬及有機烷類金屬,如六氟化鎢、基等。


另外還有工業氣體正在崛起的產業包括:煤礦滅火、石油開采、玻璃熔化爐、水泥生產窯、耐火材料生產、食品速凍、食品氣袋包裝、保鮮、光學、工業中的燃料、超導材料、電子半導體、光纖生產、農業、畜牧業、魚業、廢水處理、漂白紙漿、垃圾焚燒等環保產業,另外還有建筑、氣象、文化、保護、體育運動、破案、保健等都有應用,可以說是滲透到了各行各業當中。

2010-2017年石油加工及煉焦業城鎮固定資產投資總額變化情況(單位:億元,%)
2 冶金工業總體保持增長 特種氣體需求進一步擴大
2011-2016年,常用有色金屬冶煉行業市場規模總體呈增長趨勢,根據前瞻產業研究院發布的《2018-2023年中國特種氣體行業產銷需求與投資預測分析報告》初步估算,2017年超過22000億元,對特種氣體的需求進一步擴大。
2011-2017年常用有色金屬冶煉行業市場規模變化(單位:億元,%)
