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發布時間：2020-07-28 17:38
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光刻膠編碼 HS編碼: |
3707100001 [類注] | [章注] | [子目注釋] |
| 中文描述: | 不含銀的感光乳液劑 （CIQ碼：301:液體） |
| 英文描述: | Non--0--silver light-sensitive emulsion agent |
| 申報要素: | 0.品牌類型；1.出口享惠情況；2.用途；3.包裝；4.成分；5.是否含銀；6.品牌；7.型號；8.是否有感光作用（以下要素僅上海海關要求）9.GTIN；10.CAS |
| 申報要素舉例: | / 1.感光劑；2.用途:感光材料，用于噴墨制版機；三、光刻膠涂覆（PhotoresistCoating）光刻膠涂覆通常的步驟是在涂光刻膠之前，先在900-1100度濕氧化。3.包裝:瓶裝；4.成分:重氮樹脂94%以上；5.無品牌；6.無型號 |
| 單位: | 千克 |
NR9-3000PY
四、對準（Alignment）
光刻對準技術是曝光前一個重要步驟作為光刻的三大核心技術之一，一般要求對準精度為細線寬尺寸的 1/7---1/10。隨著光刻分辨力的提高 ，對準精度要求也越來越高 ，例如針對 45am線寬尺寸 ，對準精度要求在5am 左右。
受光刻分辨力提高的推動 ，對準技術也經歷 迅速而多樣的發展 。從對準原理上及標記結 構分類 ，對準技術從早期的投影光刻中的幾何成像對準方式 ，包括視頻圖像對準、雙目顯微鏡對準等，一直到后來的波帶片對準方式 、干涉強度對準 、激光外差干涉以及莫爾條紋對準方式 。從對準信號上分 ，主要包括標記的顯微圖像對準 、基于光強信息的對準和基于相位信息對準。這里所說的襯底不僅包含硅晶圓，還可以是其他金屬層、介質層，例如玻璃、SOS中的藍寶石。
NR77-15000PYPR1 2000A1光刻膠廠家PR1 2000A1光刻膠廠家
光刻膠穩定性
化學穩定性：在正常儲存和操作條件下，在密閉容器中室溫穩定。
避免的條件: 火源、濕氣、過熱的環境。
不相容的其他材料: 強氧化劑。
光刻膠毒理資料
淡黃色液體，氣味微弱。引起皮膚、眼睛、粘膜和呼吸道的刺激。可以通過皮膚吸收而引起全身性的癥狀。液體是可燃的。
毒性數據
皮膚：可以通過皮膚吸收而引起全身性的癥狀，類似于吸入。長時間或重復接觸可引起輕度至中度的刺激或皮炎。
眼睛：引起眼睛發炎。
吸入：吸入時可能有害。引起呼吸道刺激。蒸氣可能導致困倦和頭暈。
攝食：吞食有害。
延遲效應：肝和損害，以及動物實驗中有報道血液和GU髓有影響。
光刻膠
光刻膠組分及功能
光引發劑
光引發劑吸收光能（輻射能）后經激發生成活性中間體，并進一步引發聚合反應或其他化學反應，是光刻膠的關鍵組分，對光刻膠的感光度、分辨率等起決定性作用。
樹脂
光刻膠的基本骨架，是其中占比較大的組分，主要決定曝光后光刻膠的基本性能，包括硬度、柔韌性、附著力、曝光前后對溶劑溶解度的變化程度、光學性能、耐老化性、耐蝕刻性、熱穩定性等。
溶劑
溶解各組分，是后續聚合反應的介質，另外可調節成膜。
單體
含有可聚合官能團的小分子，也稱之為活性稀釋劑，一般參加光固化反應，可降低光固化體系粘度并調節光固化材料的各種性能。
