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發布時間:2020-12-16 07:22  
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實驗室集中供氣的優點
1、保持氣體純度
2、不間斷氣體供應:系統可以以手動方式和自動方式在氣瓶之間進行切換,保證氣體連續供應
3、低壓警示:當氣壓低于警報限時,報警裝置可自動啟動報警
4、氣體壓力穩定:系統采用兩級減壓方式供氣,可得到非常穩定的壓力
5、率:通過供氣控制系統,可充分使用氣瓶中的氣體,減少殘氣余量,降低用氣成本
6、操作簡便:所有氣瓶存放在同一位置,減少搬運安裝的操作,節約時間和成本費用
7、無氣瓶在實驗室:可提高安全性、提高安全感、節省實驗室操作空間
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大宗特氣供氣系統介紹
大宗特氣供氣系統主要針對大規模量產的8-12英寸(1英寸=25.4毫米) 超大規模集成電路廠(氣體種類包括SiH4、N2O、2、 C2F6、 NH3等),100MW以上的太陽能電池生產線(氣體種類包括NH3),發光二極管的磊晶工序線(氣體種類包括NH3)、5代以上液晶顯示器工廠(氣體種類包括4、3、NF3)、光纖(氣體種類包括SiCl4)、硅材料外延生產線(氣體種類包括HCL)等行業。4、壓縮空氣在管路上有過濾雜質和水分的凈化裝置,此凈化裝置需要并聯一路,用單獨的閥門隔離,以方便對過濾裝置進行維修。它們的投資規模巨大,采用1先進的工藝制程設備,用氣需求量大,對穩定和不間斷供應、純度控制和安全生產提出嚴格的要求。
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試驗室供氣現狀
目前我們可以用采用高壓氣瓶、液體杜瓦瓶、集中供氣系統完成上述工作。同時,當地消防規范建議甚至要求將主要的氣體源如氣瓶、杜瓦瓶和液體儲槽放置在工作區外的指1定區域,然后將氣體通過管道系統輸送至試驗室內。
但是考慮安全和效率因素,不考慮經濟性因素,集中供氣系統是比較優1秀的方式。并成為當今試驗室設備使用高純氣體的可靠連續的供應源,氣體通過管道系統輸送至試驗室內,并可通過安裝在工作臺上的使用點二級減壓器方便地調節壓力和流量。
國內比較老的試驗室在使用氣體的時候大多是將氣瓶放在用氣點的旁邊,然后在氣瓶出口處安裝一個減壓器,然后直接通過紫銅管或四氟軟管連接到儀器上,如果一個試驗室里有多個使用設備時,就會有很多氣瓶,同時有很多雜亂的管路,同時這些氣體不乏有毒氣體、強腐蝕氣體,以及氣瓶出口高壓等因素,使得這種方式在現實使用過程中是充滿危險性的。電子特氣管道系統氦檢漏檢測規定1、氦檢漏儀表應采用質譜型氦檢測儀,其檢測精度不得低于1*10-10mbar*l/s。
小流量氣體凈化系統
高純供氣系統主要應用于鋼瓶氣、管道氣及氣體發生器等的高純連續供氣,應用于超微量水、氧分析儀、氣相色譜儀、常壓離子質譜儀等各類氣體分析儀器純化載氣或零點氣,也可用于超高純度氣體管道安裝施工中的吹掃氣體,更可以為半導體工藝設備提供超高純的工藝氣體。特種氣體的應用領域主要在集成電路制造、太陽能電池、化合物半導體、液晶顯示器、光纖生產四大領域,其中主要應用于半導體集成電路的生產制造。
氣體凈化系統根據需求采用常溫或者高溫吸附劑,電化學拋光316L不銹鋼管件,出氣口配置微米過濾器,其氣體純化指標達到各項雜質含量小于1ppb的世界先進水平。
氣體配比儀采用質量流量計,電化學拋光316L不銹鋼管件,雙卡套或者VCR氣體接頭。