浙江正壓氦質譜檢漏儀誠信企業 中科鼎新公司

氦質譜檢漏儀

高速排氣性能：在微漏模式下He的排氣速度達到5L/s ;2  2  采用與本體獨立的平版觸摸式顯示器：搭載無線控制系統；2  可進行直觀操作：的識別性及簡易的測試畫面；2  支持多種真空泵：油回轉泵、渦旋型干泵；2  裝有方便使用及操作簡單的推車，901系列 也提供低底盤型號；

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氦質譜檢漏儀逆擴散原理

被檢件充入高于大氣壓的探索氣氦，檢漏儀的檢漏口連接稱之為吸槍的氣體。當試件有漏時，泄漏的氦氣被吸槍吸入檢漏儀，而被檢測。吸槍在試件表面移動，同時注視氦質譜檢漏儀漏率指示的變化，一旦泄漏增加，吸槍所指位置即漏點所在。因此吸槍法也是能確定漏孔的檢漏方法。

電子元器件進密性檢測時常用背壓法。檢漏前用專用加壓容器向被檢件壓入氦氣(由壓力和時間控制壓入的量)，然后取出被檢件，吹去表面吸附氦后放入專用檢漏罐中，再將檢漏罐聯接到檢漏儀的檢漏口上，對檢漏罐抽真空，實施檢漏。若器件有漏，則通過該漏孔壓人的氦氣又釋放出來進入檢漏罐，終到達質譜管。用這種方法測得的漏率也是總漏率

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高壓強下檢漏：檢漏口壓強可高達數百帕左右，對檢測大系統和有大漏的工件很有益。自動化程度高：自動校準氦峰，自動調節零點，量程自動轉換，自動數據處理，可外接打印機。整機由微機控制，菜擇功能，一個按鈕即可完成一次的全檢漏過程。有些國家生產的檢漏儀，可采用干式泵，達到無油蒸氣的效果，為無油系統及芯片等半導體器件的檢漏，提供了有利條件。