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發布時間：2021-07-28 06:23
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真空機組對機組的要求
超高真空抽氣機組超高真空抽氣機組工作在10-5~10-10Pa的超高真空壓力范圍內,除了要求真空室的材料出氣率很低、漏氣率很小、能經受200~450℃高溫烘烤外,對機組的要求還有:
(1)主泵的極限真空度高,至少在10-7~10-8Pa以上。
(2)在超高真空的工作壓力范圍內主泵應具有一定的抽速。
(3)機組的主泵或主泵進氣口以上部分能承受200~450℃的高溫烘烤。
(4)來自主泵的返流氣體(包括工作液蒸氣及解析的氣體)的分壓力足夠低。
(5)對被抽氣體選擇性強的主泵,要配備足夠大的輔助泵。
(6)機組主泵進氣口以上的管道、閥門等部件,對材料的選擇和密封要特別慎重。一般采用出氣率較低的不銹鋼和金屬密封材料,以耐高溫烘烤。
超高真空機組的特點及分類
工作在10-5Pa以上的超高真空機組有擴散泵、分子泵超高真空機組和無油超高真空機組.該機組有如下特點:
①主泵極限真空度高，在10-7~10-8pa以上;
②能經受200~450℃的高溫烘烤;
③主泵返流氣體的分壓力很低;
④對被抽氣體選擇性強的主泵，要配備足夠大的輔助泵;
⑤要求真空室、管道、閥門等部件的材料出氣率很低，漏氣率很小。
(1)擴散泵超高真空機組
以擴散泵為主泵的超高真空機組的極限真空度為10-7~10-8Pa。
為減少來自擴散泵前級的氣體反擴散和阻擋機械泵油的反擴散對極限真空度的影響，可在擴散泵前級申聯一臺抽速小的擴散泵，以降低壓縮比，減小反擴散。如在擴散泵進氣口上邊增設鈦升華阱，可進一步降低來自擴散泵的氮氣分壓力，能獲得10-11Pa的超高真空。空氣門關閉或運行泵停運后，每分鐘記錄一次凝汽器真空及排汽溫度，8min后開啟空氣門，取后5min的平均值作為測試結果。
(2)分子泵超高真空機組
以分子泵為主泵的超高真空機組其極限真空度為10-8Pa，特點是啟動快，油的污染小。
在機組內增加液氮冷阱，可以增大抽速。機械泵出口處設有水冷阱，可以防止油蒸氣進入系統。
(3)無油超高真空機組
不用油做工作液和不用有機材料密封的真空機組稱為無油超高真空機組。常用的主泵有低溫泵、鈦泵、濺射離子泵等，可得到極限真空度10-7~10-8Pa。與有油真空機組比較，它有如下優點:
①可獲得清潔真空、無污染源;
②當無油真空泵啟動后，即可隔離預抽泵;
③如突然抽氣停止，不會污染系統;
④無油、無聲、無振動，改善了工作環境;
⑤極限真空度高，抽速大，抽氣時間短。
真空機組安全風險管控措施分析
1、容器炸裂管控措施分析
真空機組排氣過濾器應用足夠大的容量以保證真空泵在大的抽氣量的條件安全運行。提供措施確保其過濾器在飽和或阻塞情況下不會導致泵入口壓力超過其允許的高工作壓力。在泵的排氣口處或真空系統內積累的碎片無法避免時，應配排氣壓力監控裝置或壓力調節閥。
2、其他事故管控措施分析
1）真空機組中各種泵所需冷卻介質以及水環泵工作液的供給管路配備斷液報警裝置。
2）真空機組安裝應急停止設備裝置，在發生緊急情況時能及時關停設備。
真空機組——特點介紹
抽入的氣體先進入石墨列管冷凝器，可對被抽介質進行冷凝，減少水噴射真空泵的抽氣負荷。
水噴射真空泵循環液經過石墨盤管冷卻后，能保持在適宜的溫度下運行，保證水噴射真空泵的使用性能達到較佳的狀態。
環保型機組大大降低了循環水箱對補水的要求，基本能做到無廢水排放。
介質的廢氣經除沫器后，液體回到循環儲液罐，廢氣進入處理系統。
環保型機組冷凝列管和冷卻盤管均采用石墨改性聚烯材料，離心泵為全塑聚烯材質結構，具有優良的耐腐蝕性能。
