太原電子束蒸發鍍膜設備價格在線咨詢【沈陽鵬程】

電子束原理介紹

其實，增速器離人們的生活并不遠。現代生活中已經普及的電視、計算機顯示器所用的顯像管就是一臺小小的電子增速器。顯像管有玻璃密封外殼，內部抽成真空。由一端的電子槍產生的電子束（強度受影像訊號控制）經過聚焦線圈聚焦后在高壓電極的作用下加速向前運動。與此同時，電子束在偏轉電極的作用下，自上而下作水平方向的掃描。電子束焊原理一臺電子增速器，注入的電子能量為20GeV（1GeV=109eV，也就是10億電子伏特），相應的電子速度為0。這樣，在顯像管另一端的熒光屏上就形成了明暗程度不同的亮點。

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電子束蒸發鍍膜機產品介紹

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產品配置：

★樣片數量及尺寸： 1片Φ8英寸或5片Φ4英寸或傘形工件架（用戶定制）

★蒸發材料：金屬；非金屬；化合物等薄膜材料。

★蒸發腔體：高真空系統。

★蒸發不均勻性：≤±3%-±5％

★工件架：可旋轉，轉速可調

★加熱：常規加熱

★電子槍：E型，帶XY偏轉掃描

★電子槍坩堝：6穴，17cc

★膜厚監控功能：石英晶控膜厚在線監測與終點控制

★清洗功能：可選配離子源清洗

★器件一次成型復合實驗系統：通過復合mask系統與樣品對準系統，一次完成器件的多個工藝步驟

★檢測與控制光學特性的功能：可選配光控儀

★操作模式：全自動 半自動控制

電子束蒸發鍍膜機各部件介紹

1、烘烤照明系統1套。烘烤溫度：室溫-150℃。（在10-4Pa時，真空室內殘余氣體的組合，水蒸汽約占 90%以上，因此在該壓強下進行蒸鍍，實際上相當于在水蒸汽中制膜，為了減少水份，提高真空室溫，使水分解，是提高膜層質量的一種可行辦法）。

2、電控柜：標準電控柜，組裝總控制電源、真空系統控制（分子泵、機械泵電源、擋板等）、數顯真空計等。柜底下配腳輪，方便移動、定位。

3、手動按鈕式操作，備留機電轉換及控制接口，方便實驗記錄.

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電子束蒸鍍系統的特點

* 渦輪分子泵，串接機械泵或干泵

* pocket電子槍

* 電子束源和基片遮板

* 性能好的開關電源，杰出的消弧性能

* 自動Pocket索引以及可編程的掃描控制器

* 膜厚監測，可設置目標膜厚作為工藝終點條件

* 旋轉樣品臺，提供高均勻性

* 帶觀察視窗的腔門，便于放片/取片

* PC全自動控制，具有高度的可重復性

* Labview軟件的計算機全自動工藝控制控

* 多級密碼保護的授權訪問設計

* EMO保護以及完全的安全聯鎖

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