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              發布時間:2020-12-06 10:59  

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              彩色抗蝕劑(RGB)的薄膜厚度測量[FE - 0003]

              液晶顯示器的結構通常如右圖所示。 CF在一個像素中具有RGB,并且它是非常精細的微小圖案。 在CF膜形成方法中,主流是采用應用在玻璃的整個表面上涂覆基于顏料的彩色抗蝕劑,通過光刻對其進行曝光和顯影,并且在每個RGB處僅留下圖案化的部分的工藝。 在這種情況下,如果彩色抗蝕劑的厚度不恒定,將導致圖案變形和作為濾色器導致顏色變化,因此管理膜厚度值很重要。




              考慮到表面粗糙度測量的膜厚值[FE-0007]

              當樣品表面存在粗糙度(粗糙度)時,將表面粗糙度和空氣(air)及膜厚材料以1:1的比例混合,模擬為“粗糙層”,可以分析粗糙度和膜厚度。此處示例了測量表面粗糙度為幾nm的SiN(氮化硅)的情況。


               膜厚儀在電氣安全方面按照要求正常使用儀器,就不會對人造成任何危險或損害。膜厚儀包含傳導線電壓的元件,它是按照準則的安全條款設計的。必須遵循儀器安全條款和準則有關儀器操作的規定!  電源連接為避免損壞儀器,供電電壓必須與膜厚儀銘牌上的電壓一致。儀器必須使用三相插頭連到一個已接地的插座上。


              膜厚測試儀波譜校準   不關機狀態下每日必做一次或每次關機3小時以上再次重開機必做,目的讓儀器進行自我補償調整。首先點擊任務欄中的“波譜校準”,然后將波譜校準片放入儀器,將Cu-Ag合金部分移至十字線中間,鐳射聚焦,測量(點擊Go鍵)。待膜厚測試儀器自動完成每一步,紅色STOP鍵會轉變成綠色GO鍵后,將純Ag部分移至十字線中間,鐳射聚焦,測量(點擊Go鍵),完成后出現“波譜校準成功”字樣的對話框時,點擊“確定”即可。


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