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發(fā)布時(shí)間:2020-12-14 04:09  
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光波超精密技術(shù)研究院——?dú)鈩?dòng)直線導(dǎo)軌平臺(tái)
在兩個(gè)互相運(yùn)動(dòng)的平面之間有一個(gè)空隙 h (通常是幾個(gè)微米到幾十個(gè)微米),被支撐件的下平面上有一個(gè)面積一定的氣腔(氣腔直徑為 d),氣體通過(guò)節(jié)流器(節(jié)流器直徑為 d)進(jìn)入氣腔,這樣被支撐件①就在氣壓作用下,被支撐件②就在支撐件②上滑動(dòng),使被支撐件①在氣缸中形成氣浮支撐.當(dāng)高壓氣體處于一定壓力下時(shí),氣浮支撐件①就在氣浮中形成。進(jìn)氣腔通過(guò)節(jié)流器流動(dòng)時(shí),壓力下降到 P。當(dāng)氣腔和間隙兩部分所占的面積需要合理設(shè)計(jì)時(shí),系統(tǒng)就可以使間隙基本保持恒定,并使之處于力平衡狀態(tài).但是當(dāng)外加載 F突然增大時(shí),間隙就會(huì)立即減小.因?yàn)榱鹘?jīng)間隙的流量與外加載 F成正比,流速就會(huì)大大降低,從而使外加載 F自動(dòng)增大.
光波超精密氣浮導(dǎo)軌——?dú)鈩?dòng)直線導(dǎo)軌平臺(tái)
氣浮導(dǎo)軌z大ui的不同之處就是我們把滑軌和滑塊結(jié)合起來(lái)的獨(dú)特機(jī)制。利用真空復(fù)i制使載體臺(tái)架在導(dǎo)軌上,消除了振動(dòng)和諧波噪聲。極i好的穩(wěn)定性、平直性和剛度由此得到保證,保證了每一次實(shí)現(xiàn)納米級(jí)定位。
使用空氣可大大減少運(yùn)行時(shí)的維護(hù)情況。不但不需要進(jìn)行繁重的潤(rùn)滑要求,而且污染和除氣問(wèn)題也已經(jīng)過(guò)時(shí)。
與納米級(jí)精i確度相比,高速操作可同時(shí)提高產(chǎn)量和質(zhì)量,與傳統(tǒng)潤(rùn)滑油相比,空氣處理可解決污染和除氣問(wèn)題,是潔凈室操作的理想選擇采用多孔介質(zhì)技術(shù),使空氣分布均勻,不但具有亞納米級(jí)的精度,而且具有內(nèi)在的防撞設(shè)計(jì),以zui大程度地減少潛在損壞,減少維修停機(jī)時(shí)間,提高操作效率
氣浮導(dǎo)軌副由氣浮塊和承導(dǎo)面組成,每個(gè)承導(dǎo)面至少有兩個(gè)氣浮塊,氣浮塊與承導(dǎo)面間隙中氣體壓力 p的分布狀態(tài)能左右氣浮塊的性能。通過(guò)這個(gè)實(shí)驗(yàn)臺(tái)的實(shí)驗(yàn)測(cè)量得到:供氣量一定時(shí),氣浮塊所受負(fù)荷增大,氣浮厚度減小;當(dāng)負(fù)荷減少時(shí),氣浮厚度增大。
高精度工作臺(tái)常用導(dǎo)軌有滾動(dòng)導(dǎo)軌、靜壓力導(dǎo)軌等,滾動(dòng)導(dǎo)軌的使用已有多年歷史,滾動(dòng)導(dǎo)軌的運(yùn)動(dòng)精度可達(dá)微米級(jí),摩擦系數(shù)可降至0.002~0.003。滾動(dòng)式導(dǎo)軌具有滾動(dòng)摩擦阻力小,不存在爬行漂浮現(xiàn)象,但其摩擦系數(shù)大,抗沖擊性能差,運(yùn)動(dòng)不平穩(wěn),使用壽命低等優(yōu)點(diǎn),在實(shí)際應(yīng)用中還存在不足。
機(jī)導(dǎo)是傳動(dòng)系統(tǒng)運(yùn)動(dòng)的基礎(chǔ),也是傳動(dòng)系統(tǒng)的關(guān)鍵部件之一.由于空氣粘性低,不易爬行、振動(dòng)小、熱穩(wěn)定性好、不污染環(huán)境等優(yōu)點(diǎn),因此本試驗(yàn)裝置采用空氣靜壓導(dǎo)軌設(shè)計(jì).空氣靜壓導(dǎo)軌是將具有一定壓力的空氣通過(guò)節(jié)流器送入導(dǎo)軌間隙,通過(guò)靜壓使導(dǎo)軌懸浮起來(lái),在導(dǎo)軌面之間形成一層極薄的氣膜,氣膜厚度基本保持恒定。
光波超精密——?dú)鈩?dòng)直線導(dǎo)軌平臺(tái)
直線導(dǎo)軌常簡(jiǎn)稱為導(dǎo)軌,它的作用是支承并引導(dǎo)運(yùn)動(dòng)部件沿給定軌跡和行程作直線往復(fù)運(yùn)動(dòng)。導(dǎo)軌由兩個(gè)相對(duì)運(yùn)動(dòng)的部件組成,一個(gè)部件固定在機(jī)架上,稱為定軌,另一個(gè)在定軌上移動(dòng),稱為動(dòng)軌。導(dǎo)軌多用于需要作直線往復(fù)運(yùn)動(dòng)的執(zhí)行器。導(dǎo)軌的運(yùn)動(dòng)性能在低速時(shí)要求平穩(wěn)、無(wú)爬行、定位準(zhǔn)確,高速時(shí)要求慣量小、無(wú)超調(diào)或振蕩。導(dǎo)軌的精度、承載能力和壽命對(duì)系統(tǒng)的精度、承載能力和壽命有直接影響。導(dǎo)軌按軌面摩擦性質(zhì)可將導(dǎo)軌分為滑動(dòng)導(dǎo)軌、滾動(dòng)導(dǎo)軌、液體靜壓導(dǎo)軌、氣浮導(dǎo)軌、磁浮導(dǎo)軌。滑動(dòng)導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,剛性好,摩擦阻力大,連續(xù)運(yùn)行磨損快,制造中軌面刮研工序的要求很高。
滑軌的靜摩阻力系數(shù)和動(dòng)摩阻力系數(shù)相差很大,所以在低速運(yùn)動(dòng)時(shí)會(huì)出現(xiàn)爬行現(xiàn)象。滑軌常用于各種機(jī)床的工作臺(tái)或床身導(dǎo)軌,多為工作臺(tái)、滑臺(tái)、滑板、導(dǎo)靴、車(chē)頭支架等。軌道橫斷面有矩形,燕尾, V形,圓形等。在重型機(jī)械中,多個(gè)截面形狀經(jīng)常聯(lián)合使用,共同起著導(dǎo)向和支撐的作用。滾動(dòng)式導(dǎo)向是將滾動(dòng)式物體放置在運(yùn)動(dòng)部件和支撐部件之間,例如滾珠、滾輪、滾針或滾動(dòng)軸承。滾動(dòng)式導(dǎo)軌的優(yōu)點(diǎn)是:不會(huì)給滑動(dòng)式導(dǎo)軌帶來(lái)1/10的摩擦系數(shù),靜、動(dòng)摩擦系數(shù)差異較小,不易發(fā)生爬行現(xiàn)象,可用小功率電機(jī)拖曳,定位準(zhǔn)確,使用壽命長(zhǎng)。