潔凈施工班組與其他施工班組溝通及協(xié)調(diào)
(1)門窗位置留洞口及彩鋼板與門窗交界處的細(xì)部處理工作。
(2)空調(diào)主風(fēng)管穿越土建墻,協(xié)調(diào)處理預(yù)留洞的位置。
(3)潔凈區(qū)施工與動(dòng)力、非潔凈壁板隔斷區(qū)照明及通風(fēng)、消防報(bào)警、儀表自動(dòng)化安裝之間,相互協(xié)調(diào)施工進(jìn)度,做好彩鋼板內(nèi)穿管,保證開孔位置準(zhǔn)確;在設(shè)備安裝后要保證接口密封,以符合GMP驗(yàn)收規(guī)范,避免產(chǎn)塵為標(biāo)準(zhǔn)。
凈化車間屬于人造的環(huán)境,里面含有的粒子遠(yuǎn)低于一般的環(huán)境,隨著集成電路的級(jí)數(shù)的快速成長,也增加了對(duì)制造環(huán)境(凈化車間)潔凈度要求,在工業(yè)上即使使粒子之尺寸想小于0.1 微米.也可能阻礙產(chǎn)品的制作或降低其壽命。優(yōu)于納米技術(shù)的興起,造成半導(dǎo)體關(guān)鍵尺寸持續(xù)縮小,集成電路積集度不斷地增加,塵粒更容易使芯片失效或可靠度下降。例如當(dāng)金屬塵粒落到金屬導(dǎo)線時(shí),就可能會(huì)使金屬導(dǎo)線形成短路。所以凈化車間為集成電路制造必不能少的因素。
國內(nèi)現(xiàn)有防排煙模式分析國內(nèi)目前現(xiàn)有之凈化車間煙控模式共有四種。其中,煙控設(shè)計(jì)原理,就是利用在凈化車間下層回風(fēng)區(qū)的一般排氣風(fēng)管,在其上安裝閘門,平時(shí)此閘門為關(guān)閉狀態(tài),以維持一般排氣的運(yùn)作,若遇上凈化車間或凈化車間下層回風(fēng)區(qū)發(fā)生火災(zāi)時(shí),則打開閘門以進(jìn)行排煙。此設(shè)計(jì)必須有兩個(gè)假設(shè)成立才能發(fā)揮其功效,假設(shè)為:若火災(zāi)發(fā)生于凈化車間中,則凈化車間上方的FFU 下吹垂直層流速度必須大過火災(zāi)向上升的速度,才能壓制凈化車間火災(zāi)產(chǎn)生的,將其導(dǎo)引向下至下層回風(fēng)區(qū)中,然后經(jīng)由排氣風(fēng)管打開的閘門抽走。