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暫停供氣，只需全松氣體匯流排的減壓器調節螺桿，低壓表為零后，再關掉截止閥，不使減壓器長時間受壓。

減壓器的高壓腔和低壓腔都配有安全閥，當壓力超出許用值時，自動開啟排氣，壓力降至許用值即自動關掉，平常請勿旋轉安全閥。

實驗室使用集中供氣系統優點：1.效率。通過供氣控制系統，可充分使用鋼瓶中的氣體，減少殘氣余量，降低用氣成本。2.操作簡便。所有氣瓶均集中在同一位置，減少了搬運安裝等操作，更節約時間及成本費用。3.減少氣瓶的租金。采用集中供氣系統，可減少對氣瓶數量的要求，從而節省氣瓶的租用成本。4.減少分子篩損耗。通過集中供氣能更好的控制氣體純度（通過清洗，吹掃），可有效地減少數派對分子篩的使用量（節約成本）。

1~3臺色譜儀可使用外徑3mm（φ3）內徑2mm（φ2）的不銹鋼軟管，外管進入室內再加裝三通可對3臺儀器供氣。對于3~6臺儀器供氣氣壓為0.4Mpa,采用外徑3mm,內徑2.4mm的不銹鋼管。當氣體進入每臺儀器之前，添加一個穩壓閥（wyf-1），防止互相影響。

表面粗糙度和耐磨性

為了確保輸送的氣體純凈度，要求管道材料內表面有一個極高的光潔度，這樣可以防止污染粒子及濕氣在管壁滯留，可以在吹掃時比較容易吹凈。管材比較光潔而且耐磨，可以在氣流高速沖刷下，產生的金屬粒子就少，不銹鋼比銅管產生粒子要少，所以不銹鋼管耐磨性優于鋼管。

抗腐蝕性

微電子生產中，經常使用一些腐蝕性很強的氣體，這時必須采用耐腐蝕的管材，否則管道會被腐蝕，輕則表面產生銹斑，重則管道大面積剝落、穿孔，不但污染氣體，還會發生危險事故。