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發布時間：2020-09-05 10:55
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空氣由空調箱經風管與無塵室內之空氣過濾器（HEPA）進入無塵室，并由無塵室兩側隔間墻板或高架地板回風。頭罩材質為無塵紙（或無纖紙）制成，帽子材質則與潔凈衣同，二者在穿戴使用時，除了只露出眼睛或臉表面部分外，其他部分均須包覆，在頭部部分連接上衣處也必須完全蓋住，不能留有空隙，頭發亦不能露出來。氣流非直線型運動而呈不規則之亂流或渦流狀態。亂流無塵室靠送風氣流不斷稀釋室內空氣，將污染空氣逐漸稀釋，來實現潔凈的。氣次數決定定義中的凈化級別（換氣次數越多，凈化級別越高）。此型式適用于無塵室等級1,000-100,000級。
每立方米將大于0.5微米粒徑的微塵數量控制在3500個以下，就達到了國際無塵標準的A。此型式需將作業人員之工作區與產品和機器維修予以隔離，以避免機器維修時影響了工作及品質，ULSI制程大都采用此種型式。應用在芯片級生產加工的無塵標準對于灰塵的要求高于A，這樣的高標主要被應用在一些等級較高芯片生產上。微塵數量被嚴格控制在每立方米1000個以內，這也就是業內俗稱的1K級別。
無塵室的優點：構造簡單、系統建造成本，無塵室之擴充比較容易，在某些特殊用途場所，可并用無塵工作臺，提高無塵室等級。
無塵室的缺點：亂流造成的微塵粒子于室內 空間飄浮不易排出，易污染制無塵室程產品。另外若系統停止運轉再重啟，欲達需求之潔凈度，往往須耗時相當長一段時間。
潔凈管道（Clean Tube）：將產品流程經過的自動生產線包圍并凈化處理，將潔凈度等級提至100級以上。無塵室內的氣流是左右無塵室性能的重要因素，一般無塵室的氣流速度是選0。因產品和作業員及發塵環境相互隔離，少量之送風即可得到良好之潔凈度，可節省能源，不需人工的自動化生產線為適宜使用。藥品、食品業界及半導體業界均適用。并裝局部無塵室（Clean Spot）：將無塵室等級10,000~100,000之亂流無塵室內之產品制程區的潔凈度等級提高為10~1000級以上，以為生產之用；潔凈工作臺、潔凈工作棚、潔凈風柜即屬此類。潔凈工作臺：等級Class 1~100級。
在潔凈室中，人是決定微粒污染物產生的重要因素。潔凈室內工作的人員都應當充分了解個人衛生習慣對潔凈室潔凈程度的影響有多大，這才是很重要的。
蘇州卓宇泰為您介紹潔凈室工作人員應遵循的規程，有關服裝和個人用品方面的要求，供讀者參考。(2)潔凈度要求嚴的潔凈室，末級過濾器滿布率100%時，對大的系統采用FFU，當前還是不經濟的。至于珠寶首飾，工作人員可以戴結婚和訂婚戒指，但不要戴有尖角或者邊沿鋒利的戒指，因為它們可能會刺穿手套或者衣服。如果一定要戴這種戒指，就需要在戴手套和穿潔凈服之前用帶子把它們纏起來。建議不要佩戴懸垂式耳環、項鏈、胸針和其他凸出來的或者懸掛的飾品，即便它們一般都是藏在衣服里面，不要佩戴這些飾物。因為這些東西可能會干擾潔凈室或者實驗室的正常活動。
