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什么是無塵車間，無塵車間指的是在一定的空間范圍內，將空氣中有害粒子（微生物、細節）等污染物控制在一定的范圍內，使之不會對生產或工作造成負1面影響，并將空間內的溫濕度、壓力、靜電等條件控制也控制在某一范圍內的車間內建筑。03無塵生產車間內的溫濕度要控制好，防止因溫濕度影響產品的生產和質量04無塵生產車間必須保持一定的正壓，以保證無塵生產車間不受污染物的影響。

   在建設無塵車間的時候，首先需要安裝的有空氣凈化系統。其中包括進風系統、排風系統、凈化空調、過濾器等。其中的進風和排風系統和回風系統相差不大，都是以空氣的流通和過濾來達到控制車間內微塵粒子數量的目的。

01

車間內氣流一定要均勻地來回送風排風

02

必須注意氣流的輸送量和風速。充分通風可以消除無塵生產車間的空氣污染。

03

無塵生產車間內的溫濕度要控制好，防止因溫濕度影響產品的生產和質量

04

無塵生產車間必須保持一定的正壓，以保證無塵生產車間不受污染物的影響。

根據潔凈室車間空氣循環特點可以將潔凈室分為三種類型：循環空調機配合送風口系統、循環風機配合濕式密封系統和FFU循環系統。

種形式在小規模低等級要求的潔凈室車間設計中被廣泛應用，對于大面積高等級的潔凈車間則存在運行成本過高、占用空間過大等缺點。

第二種形式的設計可以滿足集成電路制造無塵車間大面積高等級的要求，但運行成本較高，并且潔凈室風速、風量調節困難，系統升級改造困難，因此操作靈活性很低。

第三種的FFU循環系統不僅節省運行空間、潔凈度安全性高、運行成本低，而且操作靈活性很高，可以在不影響生產的情況下隨時進行系統升級和調整，這些都能很好地滿足半導體制造的需求，因此在半導體制造業FFU循環系統逐漸成為1主要的凈化設計方案。