愛德華干式真空泵廠家進(jìn)口真空泵油明勝機(jī)電設(shè)備

發(fā)布時(shí)間：2021-01-18 04:18

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化學(xué)氣相沉淀化學(xué)氣相沉淀 (CVD) 系統(tǒng)具有多種配置用于沉積多種類型的薄膜。制程還以不同的壓力和流量狀態(tài)運(yùn)行，其中的許多狀態(tài) 都使用含氟的干燥清潔制程。集成式系統(tǒng)和生產(chǎn)層解決方案僅僅有泵和氣體減排設(shè)備，您仍然不能隨時(shí)運(yùn)轉(zhuǎn)您的制程。所有這些可變因素意味著您需要咨詢我們的應(yīng)用工程師之一來選擇適當(dāng)?shù)谋?和氣體減排系統(tǒng)以便大程度地延長(zhǎng)我們產(chǎn)品的維修間隔并延長(zhǎng)您制程的正常運(yùn)行時(shí)間。

干泵選擇

CVD 制程通常需要通過選擇適當(dāng)?shù)?干泵產(chǎn)品來克服四個(gè)特定挑戰(zhàn)。這些挑戰(zhàn)是：

粉末

許多制程會(huì)產(chǎn)生大量粉末副產(chǎn)品。需要將真空泵設(shè)計(jì)成能夠處理這些粉末而不被卡住。在某些情況下，粉末實(shí)際上可能很粘或需要高溫運(yùn)行才能確保粉末中夾帶的其他副產(chǎn)品不在泵內(nèi)部冷凝并卡住泵機(jī)構(gòu)。機(jī)械增壓泵在相對(duì)較低的壓力下工作，不會(huì)暴露在與前級(jí)泵相同濃度的腐蝕性制程介質(zhì)下，因此高度可靠。對(duì)于幾乎所有產(chǎn)生粉末的制程，您將不得不使用采用高扭矩電機(jī)的泵，以確保泵在應(yīng)力下保持旋轉(zhuǎn)。

冷凝

半導(dǎo)體制程的某些副產(chǎn)品含有氣體，當(dāng)氣體分壓增加或與冷表面接觸時(shí)，這些氣體會(huì)從氣相變?yōu)楣滔唷Ｔ诒盟瓦@些副產(chǎn)品時(shí)，您將需要非常熱的泵，是從入口到出口具有盡可能一致的溫度分布的泵。

腐蝕

有些制程需要泵送鹵化物。尤其是需要含氟的清潔制程來保持艙室的清潔性，但被激的氟自由基可能會(huì)侵蝕泵的內(nèi)表面。如果制程主要使用可能對(duì)泵造成腐蝕的化學(xué)品，您需要確保可以將泵溫度設(shè)置為一個(gè)較低值以降低腐蝕風(fēng)險(xiǎn)。我們的泵設(shè)計(jì) 具有可選的溫度設(shè)定點(diǎn)和高旋轉(zhuǎn) 速度以降低腐蝕風(fēng)險(xiǎn)并降低泵中不可避免發(fā)生的總體材料損失速率。我們與EUV平版印刷OEM和光源OEM合作開發(fā)了精密真空系統(tǒng)，可為您進(jìn)行的大型投資提供可靠性。對(duì)于某些 CVD 制程，需要在溫度設(shè)定點(diǎn)上達(dá)到平衡，以確保避免任何冷凝問題，同時(shí)不使腐蝕速度過高。