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發(fā)布時間:2021-09-16 07:47  
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流量控制器的工作壓差范圍是個什么概念?
質(zhì)量流量控制器(MFC)中設(shè)置有一個氣體流量調(diào)節(jié)閥門, 閥門能使通過控制器的流量從零調(diào)節(jié)到測量的滿量程, 在工作的過程當(dāng)中, 控制器的入口和出口之間會產(chǎn)生一個氣壓降, 即壓差。MFC的工作壓差范圍通常為0.1~0.3MPa, 若壓差低于值(0.1 MPa), 有可能控制達(dá)不到滿量程值; 若高于值(0.3MPa), 有可能關(guān)閉時流量不能小于2%F.S。用戶使用MFC時, 無論用戶工作的反應(yīng)室是真空還是高壓, 應(yīng)做到使MFC進(jìn)出氣兩端的壓差保持在所要求壓差范圍之內(nèi), 并且要求氣壓要相對穩(wěn)定。一、壓力狀況在加氣機(jī)中使用的質(zhì)量流量控制器測量的氣體的壓力不低于20MPa,壓力遠(yuǎn)遠(yuǎn)大于大氣壓。
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流量控制器
質(zhì)量流量控制器在正常工作時,流體在旋轉(zhuǎn)的管內(nèi)流動時會對管壁產(chǎn)生一個力,它是科里奧利在1832年研究水輪機(jī)時發(fā)現(xiàn)的,簡稱科氏力。質(zhì)量流量計以科氏力為基礎(chǔ),在傳感器內(nèi)部有兩根平行的T型振管,中部裝有驅(qū)動線圈,兩端裝有拾振線圈,變送器提供的激勵電壓加到驅(qū)動線圈上時,振動管作往復(fù)周期振動,工業(yè)過程的流體介質(zhì)流經(jīng)傳感器的振動管,就會在振管上產(chǎn)生科氏力效應(yīng),使兩根振管扭轉(zhuǎn)振動,安裝在振管兩端的拾振線圈將產(chǎn)生相位不同的兩組信號,這兩個信號差與流經(jīng)傳感器的流體質(zhì)量流量成比例關(guān)系。計算機(jī)解算出流經(jīng)振管的質(zhì)量流量。不同的介質(zhì)流經(jīng)傳感器時,振管的主振頻率不同,據(jù)此解算出介質(zhì)密度。安裝在傳感器器振管上的鉑電阻可間接測量介質(zhì)的溫度。在容積式和差壓式流量計中,被測流體的密度可能變化30%,這會使流量產(chǎn)生30~40%的誤差。
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流量控制器的穩(wěn)定控制時間
由于到達(dá)設(shè)定值后控制器可能會發(fā)生超調(diào),所以通常制造商用到達(dá)設(shè)定值且穩(wěn)定后所需要的時間作為設(shè)備響應(yīng)速度,并賦予波形振蕩幅度一個容許范圍。舉個例子, 容許范圍2%表示流量波動在設(shè)定值的2%以內(nèi)即為穩(wěn)定。一般質(zhì)量流量控制器的精度在0.5%~2%之間,但一些制造商卻將穩(wěn)定容許范圍擴(kuò)大到10%。我們認(rèn)為如果用戶要將流量控制在期望的設(shè)定值,那么其穩(wěn)定容許范圍也必須落在設(shè)備精度范圍內(nèi)。如下面示波器截屏圖所示,控制器在27.6毫秒時到達(dá)了與設(shè)備精度(滿量程的1%)等同的穩(wěn)定容許范圍。針對氣體質(zhì)量流量控制器的實際工藝參數(shù),對該流量計進(jìn)行“個性化標(biāo)準(zhǔn)”,從而實現(xiàn)在實際使用流量點的一定范圍內(nèi),該氣體質(zhì)量流量控制器的實際測量誤差(與標(biāo)準(zhǔn)值的差)趨于零。
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越來越多的朋友對氣體質(zhì)量流量計﹑質(zhì)量流量控制器產(chǎn)生了濃厚的興趣。
質(zhì)量流量控制器, 即Mass Flow Controller(縮寫為MFC), 不但具有質(zhì)量流量計的功能,更重要的是,它能自動控制氣體流量,即用戶可根據(jù)需要進(jìn)行流量設(shè)定,MFC自動地將流量恒定在設(shè)定值上,即使系統(tǒng)壓力有波動或環(huán)境溫度有變化,也不會使其偏離設(shè)定值。當(dāng)用于大流量測量時,可采用分流的方法,即僅測量分流部分流量,再求得總流量,以擴(kuò)大量程范圍。