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發布時間：2021-10-26 05:47
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小型自動磁控濺射儀
沈陽鵬程真空技術有限責任公司——專業磁控濺射產品供應商，我們為您帶來以下信息。
1. 濺射室極限真空度：≤6.6×10-6 Pa
2. 系統真空檢漏漏率：≤5.0×10-7Pa.l/S
3. 系統從大氣開始抽氣：濺射室30分鐘可達到6.6×10-4 Pa；
4. 系統停泵關機12小時后真空度：≤5Pa
5. 濺射真空室1套，立式上開蓋結構，尺寸不小于Ф300mm×300mm，全不銹鋼結構，弧焊接，表面進行電化學拋光，內含防污內襯，可內烘烤到100～150℃，接口采用金屬墊圈密封或氟橡膠圈密封，腔體內有照明系統
6. 磁控濺射系統 3套， 提供3塊測試靶材。鍍膜不均勻度≤5%
7. 旋轉基片臺 1套，樣品臺可放置不小于100mm樣品1片，具有連續旋轉功能，旋轉0—30轉/分連續可調。基片加熱溫度：室溫—500°C連續可調，由熱電偶閉環反饋控制，加熱電源配備控溫表，控溫方式為PID自動控溫及數字顯示
8. 觀察窗口及法蘭接口部件 1套
9. 工作氣路1套，包含：100SCCM、20SCCM質量流量控制器、CF16截止閥、管路、接頭等共2路； DN16充氣閥、管路、接頭等2路；
10. 抽氣機組及閥門、管道 1套，包含1臺進口復合分子泵及變頻控制電源（680L/s ，德國普發Hipace700分子泵）；但由于電子沿磁力線運動主要閉合于靶面，基片區域所受離子轟擊較小。1臺機械泵（4L/S） ，1臺DN40氣動截止閥，機械泵與真空室之間的旁抽管路1套，CC150氣動閘板閥1臺（用于復合分子泵與真空室隔離），節流閥1臺，DN40旁抽氣閥1臺，壓差式充氣閥1臺；管道采用不銹鋼三通及波紋管，
11. 安裝機臺架組件 1套，由方鋼型材焊接成，快卸圍板表面噴塑處理，機臺表面用不銹鋼蒙皮裝飾，四只腳輪，可固定，可移動。
磁控方箱生產線介紹
用于納米級單層及多層功能膜、硬質膜、金屬膜、半導體膜、介質膜等新型薄膜材料的制備。廣泛應用于大專院校、科研院所的薄膜材料科研與小批量制備。
主要由真空室系統濺射室、靶及電源系統、樣品臺系統、真空抽氣及測量系統、氣路系統、電控系統、計算機控制系統及輔助系統等組成。
技術指標： 極限真空度6.7×10-5Pa，系統漏率：1×10-7PaL/S； 恢復真空時間：40分鐘可達6.6×10 Pa（短時間暴露 大氣并充干燥氮氣后開始抽氣）
鍍膜方式：磁控靶為直靶，向下濺射成膜； 樣品基片: 負偏壓 -200V
樣品轉盤：在基片傳輸線上連續可調可控，在真空下可輪流任意靶位互換工作。樣品轉盤由伺服電機驅動，計算機控制其水平傳遞；
可選分子泵組或者低溫泵組合渦旋干泵抽氣系統，計算機控制系統的功能：對位移和樣品公轉速度隨時間的變化做實時采集，對位移誤差進行計算，以曲線和數值顯示。樣品公轉速度對位移曲線可在線性和對數標度兩種顯示之間切換，可實現換位鍍膜。
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磁控濺射系統介紹
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真空泵和測量裝置：
低真空：干泵和convectron真空規
高真空：渦輪分子泵，低溫泵和離子規
5.控制系統：
硬件：PLC和計算機觸摸屏控制
自動和手動沉積控制
主要特點：
射頻電源：基底預先清洗和等離子體輔助沉積
溫度控制器：基底加熱
大面積基底傳送裝置
冷卻系統
