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氣體匯流排系統是一種高壓產品。不遵守以下說明可能導致人身傷害或財產損失。請仔細閱讀注意事項并遵照執行。

　　（1）油、脂等材料不得接觸氣瓶、集管和接線。油和油脂與某些氣體，特別是氧氣和氣接觸時發生反應并點燃；

　　（2）瓶閥必須開得很慢，氣體壓縮產生的熱量可能點燃燃材料；

表面粗糙度和耐磨性

為了確保輸送的氣體純凈度，要求管道材料內表面有一個極高的光潔度，這樣可以防止污染粒子及濕氣在管壁滯留，可以在吹掃時比較容易吹凈。管材比較光潔而且耐磨，可以在氣流高速沖刷下，產生的金屬粒子就少，不銹鋼比銅管產生粒子要少，所以不銹鋼管耐磨性優于鋼管。

抗腐蝕性

微電子生產中，經常使用一些腐蝕性很強的氣體，這時必須采用耐腐蝕的管材，否則管道會被腐蝕，輕則表面產生銹斑，重則管道大面積剝落、穿孔，不但污染氣體，還會發生危險事故。

對3臺以上（或6臺以上）的儀器，應采用外徑為6mm、內徑為5mm的不銹鋼管。進入室內后，用異徑三通（φ6×φ6×φ3）分流到每一臺儀器上。當然為了減少互相影響，要加裝穩壓閥。

對采用不銹鋼管軟管的用戶，則施工、調試、材料等費用將大大增加（數倍以上）。

高純氣體管道中所有高純度、高潔凈的氣體均需通過管路輸送到儀器用點(POU)，為了達到儀器對氣體的質量要求，在氣體出口指標一定的情況下，則更需重視配管系統的材料選用和施工質量。